一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的装置及制备方法

    公开(公告)号:CN119500022A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202510081686.X

    申请日:2025-01-20

    Abstract: 本发明涉及六氟化硫高效硫降解及资源化转化利用技术领域,且公开了一种介质阻挡放电活化SF6制备NF3的装置,包括反应单元,所述反应单元左侧设置有供气单元,所述反应单元顶部设置有电源单元,所述反应单元右侧设置有冷凝单元,所述冷凝单元底部设置有处理单元,所述反应单元与供气单元通过气管连接,所述反应单元与电源单元通过电连接,所述反应单元与冷凝单元气管连接;该方法通过采用介质阻挡放电技术,该技术可在常压或低压下实现高效的放电,产生大量的高能电子和活性粒子,能促进化学反应的进行,同时以NH3为氮源,富氟分子SF6为氟源,在DBD等离子体作用下SF6断键分解使NH3与SF6分解产生的低氟硫化物反应,合成目标产物NF3。

    一种基于光电协同制备六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117285075B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202311214902.0

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于光电协同制备六氟化钨的方法和装置,本发明在等离子体反应器放电区域内沿着气体进入的方向依次填充光催化剂和金属钨,并对等离子体反应器放电区域进行光照射,背景气体在放电反应区域内产生大量的等离子体(高能电子),SF6在光催化和等离子体的协同作用下发生分解,SF6分解生成氟原子和SF5、SF4等低氟硫化物,产生的氟离子和SF5、SF4等低氟硫化物进一步与金属钨发生反应,生成WF6电子特气,不仅实现SF6的氟资源利用,而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应,操作安全,能耗低。

    一种基于两种等离子体结合的六氟化硫转化的方法和装置

    公开(公告)号:CN119926324A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510040925.7

    申请日:2025-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种基于两种等离子体结合的六氟化硫转化的方法和装置,本发明通过先通过介质阻挡放电‑射流结合反应器对六氟化硫气体或六氟化硫废气进行活化降解,随后六氟化硫的降解产物以等离子体射流的方式喷射入装有有机溶液(如甲醇)的气液反应器中与有机溶液进行反应,介质阻挡放电增加了活化分解率,而射流维持了等离子体状态,有机溶液与六氟化硫的降解产物进行反应,通过介质阻挡放电、射流与有机溶液三者协同作用,不仅大幅度提高了较高浓度的SF6的降解,而且使生成的含氟产物可进行资源化再次利用。

    一种以六氟化硫为氟源合成六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117023640A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202311214889.9

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明公开了一种以六氟化硫为氟源合成六氟化钨的方法和装置,本发明等离子体将SF6解离为氟粒子和低氟硫化物(SFx),实现SF6解离产生的含氟粒子与金属钨发生原位氟化反应,将氟粒子转化为高附加值的WF6电子特气,合成了WF6电子特气的同时降解SF6气体,为SF6降解及资源化转化提供了新的方法和思路。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与W进行反应生成WF6,与传统以金属W和氟气(F2)在高温下制备WF6的方法相比,大幅度降低了反应的温度,从而大幅度降低了能耗。

    一种等离子体协同有机溶剂资源化利用六氟化硫的方法和装置

    公开(公告)号:CN119926325A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510041059.3

    申请日:2025-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种等离子体协同有机溶剂资源化利用六氟化硫的方法和装置,本发明通过介质阻挡放电‑射流一体式反应器对六氟化硫气体或六氟化硫废气进行活化降解,随后六氟化硫的降解产物喷射入装有有机溶液(如乙腈)的气液反应器中与有机溶液进行反应,介质阻挡放电‑射流一体式反应器同时放电产生等离子体和形成等离子体射流,介质阻挡放电和射流协同增加了活化分解率以及形成高速的等离子体射流,有机溶液与高速的等离子体射流进行反应,通过介质阻挡放电、射流与有机溶液三者协同作用,不仅大幅度提高了较高浓度的SF6的降解,而且生成的烃类产物可进行资源化再次利用。

    一种双级式介质阻挡放电活化SF6合成CF4的方法和装置

    公开(公告)号:CN119873802A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510048511.9

    申请日:2025-01-13

    Abstract: 本发明公开了一种双级式介质阻挡放电活化SF6合成CF4的方法和装置,本发明提出了一种双级式DBD等离子体活化降解SF6并通入CO2气体合成CF4的方法,第一级DBD等离子反应器将SF6分子进行降解,将SF6分子分解为氟原子和其他低氟硫小分子,这一步骤不仅实现了SF6的有效降解,还为后续的CF4合成提供了必要的氟源。第二级DBD等离子反应器以CO2为碳源,与一级反应产生的低氟硫小分子发生反应生成CF4气体,含CF4气体的混合气体经过一级冷凝处理,将部分含氟酸性废气冷凝成液态,随后将剩余的混合气体进行二级冷凝,将CF4气体冷凝成液态并收集,实现了产物的高效分离和纯化,一些未参与反应的酸性气体经碱液吸收池处理,可减少对环境产生危害。

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