公开(公告)号：CN109052377B

公开(公告)日：2020-05-22

申请号：CN201811245851.7

申请日：2018-10-25

Applicant: 济南大学

Inventor： 逄金波 ,  程绮琳 ,  孙春辉 ,  张丛丛 ,  王金刚 ,  刘宏

IPC: C01B32/184

Abstract: 本发明公开了一种大面积石墨烯的制备方法，包括以下步骤：(1)在衬底表面沉积金属薄膜：(2)在金属薄膜表面旋涂制备有机前驱体薄膜；(3)将有机前驱体薄膜进行高温处理，得到石墨烯薄膜。本发明制备方法的成本低、效率高、可以实现批量化生产，可以制备得到高质量的单层或多层石墨烯薄膜，可以实现低成本、大批量晶圆级石墨烯的制备。

公开(公告)号：CN109052377A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201811245851.7

申请日：2018-10-25

Applicant: 济南大学

Inventor： 逄金波 ,  程绮琳 ,  孙春辉 ,  张丛丛 ,  王金刚 ,  刘宏

IPC: C01B32/184

Abstract: 本发明公开了一种大面积石墨烯的制备方法，包括以下步骤：(1)在衬底表面沉积金属薄膜：(2)在金属薄膜表面旋涂制备有机前驱体薄膜；(3)将有机前驱体薄膜进行高温处理，得到石墨烯薄膜。本发明制备方法的成本低、效率高、可以实现批量化生产，可以制备得到高质量的单层或多层石墨烯薄膜，可以实现低成本、大批量晶圆级石墨烯的制备。