公开(公告)号：CN118565329B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410854988.1

申请日：2024-06-28

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  张振委 ,  宋金龙

IPC: G01B9/02 ,  G06F17/10

Abstract: 本申请公开了一种跨区域相位解包裹方法、装置及计算机可读存储介质，涉及光学干涉检测技术领域，通过选取最大面积的连通区域做相位解包运算，对解包结果进行Zernike多项式展开，获取前四项Zernike展开项及各项对应的系数，根据前四项Zernike展开项及各项对应的系数在待解包裹区域内进行平面拟合，得到拟合标准平面，并确定每个连通区域的相位解包结果与拟合标准平面之间的周期数差异，将每个连通区域的相位解包结果与其对应的周期数差异进行相加，得到最终的跨区域相位解包结果。本申请解决了不连续表面的相位解包问题，通过本申请提供的方法对不连续表面进行相位解包裹，可以获得最终完整且准确的相位解包裹结果。

公开(公告)号：CN118565329A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410854988.1

申请日：2024-06-28

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  张振委 ,  宋金龙

IPC: G01B9/02 ,  G06F17/10

Abstract: 本申请公开了一种跨区域相位解包裹方法、装置及计算机可读存储介质，涉及光学干涉检测技术领域，通过选取最大面积的连通区域做相位解包运算，对解包结果进行Zernike多项式展开，获取前四项Zernike展开项及各项对应的系数，根据前四项Zernike展开项及各项对应的系数在待解包裹区域内进行平面拟合，得到拟合标准平面，并确定每个连通区域的相位解包结果与拟合标准平面之间的周期数差异，将每个连通区域的相位解包结果与其对应的周期数差异进行相加，得到最终的跨区域相位解包结果。本申请解决了不连续表面的相位解包问题，通过本申请提供的方法对不连续表面进行相位解包裹，可以获得最终完整且准确的相位解包裹结果。