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公开(公告)号：CN101878452B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN200880118038.1
申请日：2008-10-17
Applicant: 汉高知识产权及控股有限公司
IPC: G03F7/42 , H01L21/027 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/31133 , G03F7/425
Abstract: 提供剥离液组合物，其对滤色器、光刻胶、罩面层等树脂层的剥离性优异，兼具对于金属配线等包含金属类的构件的防蚀作用。该剥离液组合物含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂。
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