测定方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102183297A

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN201110022404.7

    申请日:2011-01-17

    Abstract: 本发明提供一种能够高速且非破坏地评价对象物表面的润湿性的测定方法。本发明一技术方案的测定方法包括:对对象物照射紫外线的工序;检测在对象物(OBJ)上产生的荧光强度的工序;基于所检测出的荧光强度输出用于表示对象物表面的润湿性的值的工序。本发明的另一技术方案的测定方法包括:对对象物照射紫外线的工序;检测在对象物上产生的荧光的工序;输出所检测出的荧光强度来作为表示对象物表面的润湿性的值的工序。

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