一种太赫兹波段超表面相移装置及其测量方法

    公开(公告)号:CN110779456A

    公开(公告)日:2020-02-11

    申请号:CN201911088500.4

    申请日:2019-11-08

    Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段超表面相移装置及其测量方法,所述太赫兹波段超表面相移装置包括接收组件、干涉组件和发射组件,通过所述发射组件发出强度一致的太赫兹波在被测物体表面产生反射光,通过所述干涉组件产生干涉图纹,所述接收组件中的所述相移器接收该干涉图纹后产生多个已知相位差的干涉图纹,其中,所述相移器由多个结构不同的超表面相移单元组成,所述超表面相移单元由C型开口环构成,呈周期性阵列形式,将对应的被测物体的相位组合在一起,得到被测物体表面的完整相位,从而得到被测物体的变形量,提高了检测精确度,并降低了成本。

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