公开(公告)号：CN104412162A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201380035657.5

申请日：2013-07-02

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 井手正仁 ,  稻成浩史 ,  北岛亚纪 ,  田原孔明 ,  真锅贵雄

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物，第一本发明的正型感光性组合物包含：(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构；(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物；(C)硅氢化催化剂；及(D)光产酸剂。

公开(公告)号：CN104412162B

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201380035657.5

申请日：2013-07-02

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 井手正仁 ,  稻成浩史 ,  北岛亚纪 ,  田原孔明 ,  真锅贵雄

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/039

Abstract: 本发明提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物，第一本发明的正型感光性组合物包含：(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构；(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物；(C)硅氢化催化剂；及(D)光产酸剂。

公开(公告)号：CN110209014A

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201910444673.9

申请日：2013-07-02

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 井手正仁 ,  稻成浩史 ,  北岛亚纪 ,  田原孔明 ,  真锅贵雄

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/039 ,  H01L23/29 ,  H01L29/51 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明提供一种图案形成性及固化物(薄膜)的电绝缘可靠性优异的正型感光性组合物，第一本发明的正型感光性组合物包含：(A)一个分子中包含烯基或SiH基的化合物，其具有在酸存在下发生分解而显现酸性基团或羟基的结构；(B)一个分子中包含SiH基或烯基的化合物；(C)硅氢化催化剂；及(D)光产酸剂。