公开(公告)号：CN1877132B

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN200610074182.2

申请日：2006-04-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 田中敬二 ,  杉浦哲郎 ,  香川浩一

IPC: F04D27/00 ,  F04C28/00 ,  F04B49/00

Abstract: 本发明提供一种可在最适合处理状态的状态下运转并提高真空排气系统的效率的真空排气系统。真空排气系统(10)具有真空泵(20)、(30)、设置于真空排气系统(10)中的真空区域的压力传感器(50)。真空泵(20)、(30)具有输送气体的一对转子、使一对转子旋转的电动机、使一对转子同步的定时齿轮、控制电动机旋转的驱动器(26)、(36)。真空排气系统(10)还具有控制部(60)，根据由压力传感器(50)检测出的压力，经由真空泵(20)、(30)的驱动器(26)、(36)来控制转子的旋转速度。

公开(公告)号：CN1877132A

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：CN200610074182.2

申请日：2006-04-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 田中敬二 ,  杉浦哲郎 ,  香川浩一

IPC: F04D27/00 ,  F04C28/00 ,  F04B49/00

Abstract: 本发明提供一种可在最适合处理状态的状态下运转并提高真空排气系统的效率的真空排气系统。真空排气系统(10)具有真空泵(20)、(30)、设置于真空排气系统(10)中的真空区域的压力传感器(50)。真空泵(20)、(30)具有输送气体的一对转子、使一对转子旋转的电动机、使一对转子同步的定时齿轮、控制电动机旋转的驱动器(26)、(36)。真空排气系统(10)还具有控制部(60)，根据由压力传感器(50)检测出的压力，经由真空泵(20)、(30)的驱动器(26)、(36)来控制转子的旋转速度。