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公开(公告)号:CN1537078A
公开(公告)日:2004-10-13
申请号:CN03800723.1
申请日:2003-05-15
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C02F1/4695 , B01D61/44 , B01D61/48 , B01D61/52 , B01D65/08 , B01D2321/16 , B01J47/08 , C02F1/42 , C02F2201/46115 , C02F2201/46185
Abstract: 本发明目的是提供低电压下可长期运转的电脱盐装置。作为达到这种目的的方法,本发明涉及全新构成的电脱盐装置,是提供通过在阳极与阴极之间配列阳离子交换膜及阴离子交换膜形成多个室的电脱盐装置,其特征在于由阳极侧的阴离子交换膜与阴极侧的阳离子交换膜划定水解室,在该水解室的阳极侧配置由阴离子交换膜所夹的阴离子脱盐室,在该水解室的阴极侧配置由阳离子交换膜所夹的阳离子脱盐室。
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公开(公告)号:CN1969063A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580020174.3
申请日:2005-06-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D61/44 , B01D61/48 , B01D61/52 , C02F1/46109 , C02F1/4693 , C02F1/4695 , C02F2001/46128 , C02F2001/46133 , C02F2101/14 , C02F2103/346 , C02F2201/4618 , C25B1/02 , C25B9/066 , C25B13/08
Abstract: 一种双极室,可用于诸如电渗析器和电解槽的电化学液体处理装置。该双极室包括阴离子交换膜(1)、电极(2)和阳离子交换膜(3)。在阳离子交换膜(3)和阴离子交换膜(1)之间供给有液体。阴离子交换膜(1)、电极(2)和阳离子交换膜(3)以此顺序从双极室的阳极一侧开始排列。该液体可以包括纯水或非电解质水溶液。
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公开(公告)号:CN1795147A
公开(公告)日:2006-06-28
申请号:CN200480014744.3
申请日:2004-05-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C02F1/4695 , B01D61/48 , B01D61/52 , B01J47/08 , C02F1/4693 , C02F2001/422 , C02F2001/425 , C02F2001/46166 , C02F2201/46115
Abstract: 本发明打算提供电化学液体处理设备中的电极室结构,其使得使用不需要浓度调节的纯水作为电极室液体能够稳定操作而没有逆电极反应。本发明涉及一种在阳极和阴极之间包括离子交换膜的电化学液体处理设备,其具有由阳极和阳离子交换膜限定的阳极室以及由阴极和阴离子交换膜(12)限定的阴极室,阳极室和阴极室中的每一个都填充了由纤维材料构成的离子交换剂(14),阳极和阴极(11)中的每一个都是由可渗透液体和气体并且导电的材料形成的,并且该设备还具有形成于阳极和阴极每一个后面的电极室液体流动室(15)。
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公开(公告)号:CN101193823A
公开(公告)日:2008-06-04
申请号:CN200680020478.4
申请日:2006-06-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: Y02A20/134
Abstract: 电透析装置具备具有阳极(2)的阳极室(10)和具有阴极(3)的阴极室(50)。电透析装置具备:脱盐室(40),从被供给的排水中除去氟离子,从而生成处理水;浓缩室(30),将从脱盐室(40)转移的排水中的氟离子浓缩,从而生成浓缩水;缓冲室(20),进行隔断,以使排水中的氟离子不会从浓缩室(30)直接流入到阳极室(10)中。此外,电透析装置具有将纯水供给到阳极室(10)中的路径、和将从阳极室(10)出来的流出水供给到缓冲室(20)中的路径。
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公开(公告)号:CN1968898A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580020014.9
申请日:2005-06-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C02F1/469 , B01D61/44 , B01D61/48 , C02F1/4695 , C02F1/66 , C02F2101/14 , C02F2103/346 , C02F2201/46115
Abstract: 一种液体处理装置,该装置具备:具有阴极(7)的阴极室(4),具有阳极(6)的阳极室(1),配置在阴极室(4)和阳极室(1)之间、从被处理水中选择性地使阴离子或阳离子脱离的同时供应与从前述阴极室(4)或阳极室(1)选择性地脱离的离子具有同种电荷的离子的脱离子室(2),配置在阴极室(4)和阳极室(1)之间、和脱离子室(2)通过离子交换膜隔开、接受前述所脱离的离子,且通过从前述阳极室(1)或阴极室(4)接受的离子进行电中和的中和室(3)。
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公开(公告)号:CN1294564A
公开(公告)日:2001-05-09
申请号:CN99804317.6
申请日:1999-03-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C02F1/4695 , B01D61/48 , B01J47/08 , C02F2201/46115 , C02F2201/46185 , Y02A20/134
Abstract: 本发明的目的是提供一种可用其很高效地稳定将其类型包括从高离子浓度水到低离子浓度水的各种给水进行去离子处理的去离子电气装置。至少一部分的阳离子交换膜和阴离子交换膜交替地布置在电极之间并从而形成了交替排列的去离子室和浓缩室,在所述去离子室中装有由阳离子交换纤维构成的且放置在阳离子交换膜侧的纺布或无纺布,所述纺布或无纺布与放置在阴离子交换膜侧的且由阴离子交换纤维构成的纺布或无纺布是面对面放置的,而在位于两种纺布或无纺布之间的给水通道中装了一种具有离子交换能力的导离子间隔材料。
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公开(公告)号:CN1968897A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200580019981.3
申请日:2005-06-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D61/44 , B01D61/46 , B01D63/16 , B01D2325/14 , C02F1/4678 , C02F2001/46123 , C02F2001/46133 , C02F2101/20 , C02F2103/346 , C02F2201/46115 , C02F2201/4619
Abstract: 本发明提供一种电沉积处理装置及方法,其可以将由电沉积产生的处理液中的金属离子浓度降低到能够向外部排放的水平,而且由半导体制造装置产生的废水量即使较多,也能够进行处理。电沉积处理装置具有:阴极(3),其使被处理水中的金属离子以金属的形态析出;阳离子交换膜(4),其与阴极(3)相向配置;以及阳极(6),其通过介入阳离子交换体(5)而被设置为与该阳离子交换膜(4)相对置;其中,将被处理水供给至在阴极(3)和阳离子交换膜(4)之间的空间内。
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公开(公告)号:CN1780794A
公开(公告)日:2006-05-31
申请号:CN200480011640.7
申请日:2004-04-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及从含有铜的各种废水中除去和回收金属例如铜的方法及设备。处理废水的方法包括在包括电渗析操作和电解沉积操作组合的铜处理步骤(10)中处理废水,以产生铜浓度降低的处理水(107),然后从该废水中回收铜。
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公开(公告)号:CN1650400A
公开(公告)日:2005-08-03
申请号:CN03809536.X
申请日:2003-03-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/02 , H01L21/304 , C02F1/00 , G06F17/60
CPC classification number: H01L21/67276 , B24B37/04 , B24B57/02 , C11D11/0047 , C23C16/52 , G05B2219/32082 , H01L21/02052 , Y02P90/20 , Y10S210/90
Abstract: 在希望灵活生产的小规模工厂中,以较低的成本提供纯水供给系统,而不会降低生产效率。纯水系统生产多个等级的纯水,这些纯水通过与使用点连接的管道被供给,用于清洁、CMP、光刻等。根据从每个使用点接收的用于开始使用某种等级的纯水的请求信号,控制器确定所需的量是否超过纯水系统能够供给该等级纯水的能力。如果没有超过,则控制器向使用点发送使用允许信号,以允许其使用纯水。当某个使用点正在使用所请求等级的纯水时,控制器不允许请求的使用点使用该纯水,直到正在使用该纯水的使用点发出使用结束信号。
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公开(公告)号:CN1136155C
公开(公告)日:2004-01-28
申请号:CN99804317.6
申请日:1999-03-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C02F1/4695 , B01D61/48 , B01J47/08 , C02F2201/46115 , C02F2201/46185 , Y02A20/134
Abstract: 本发明的目的是提供一种可用其很高效地稳定将其类型包括从高离子浓度水到低离子浓度水的各种给水进行去离子处理的去离子电气装置。至少一部分的阳离子交换膜和阴离子交换膜交替地布置在电极之间并从而形成了交替排列的去离子室和浓缩室,在所述去离子室中装有由阳离子交换纤维构成的且放置在阳离子交换膜侧的纺布或无纺布,所述纺布或无纺布与放置在阴离子交换膜侧的且由阴离子交换纤维构成的纺布或无纺布是面对面放置的,而在位于两种纺布或无纺布之间的给水通道中装了一种具有离子交换能力的导离子间隔材料。
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