公开(公告)号：CN1650400A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN03809536.X

申请日：2003-03-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 宫崎邦浩 ,  滩原壮一 ,  臼田欣也 ,  赤堀晶二 ,  中川创太 ,  中岛健

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/304 ,  C02F1/00 ,  G06F17/60

CPC classification number: H01L21/67276 ,  B24B37/04 ,  B24B57/02 ,  C11D11/0047 ,  C23C16/52 ,  G05B2219/32082 ,  H01L21/02052 ,  Y02P90/20 ,  Y10S210/90

Abstract: 在希望灵活生产的小规模工厂中，以较低的成本提供纯水供给系统，而不会降低生产效率。纯水系统生产多个等级的纯水，这些纯水通过与使用点连接的管道被供给，用于清洁、CMP、光刻等。根据从每个使用点接收的用于开始使用某种等级的纯水的请求信号，控制器确定所需的量是否超过纯水系统能够供给该等级纯水的能力。如果没有超过，则控制器向使用点发送使用允许信号，以允许其使用纯水。当某个使用点正在使用所请求等级的纯水时，控制器不允许请求的使用点使用该纯水，直到正在使用该纯水的使用点发出使用结束信号。