聚合物及其感光性树脂组合物
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118742581A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202380023499.5

    申请日:2023-02-17

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种聚合物以及包含上述聚合物的感光性树脂组合物,该聚合物可提供显影速度快、能够形成微细的图案、细线密合性优异的固化物。本发明涉及一种聚合物、以及包含上述聚合物和多官能单体的感光性树脂组合物,该聚合物是具有酸基的聚合物,该聚合物具有在主链中具有环结构的结构单元、以及特定的结构式所表示的来自均聚物的Tg为‑5℃以下的单体的结构单元,该聚合物实质上在侧链中不具有烯键式不饱和双键,该酸基与主链的间隔为原子数6以下。优选进一步包含光聚合引发剂和色料的方式,作为滤色器用抗蚀剂的方式是特别优选的方式。

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