透镜测量装置、透镜测量方法及透镜制造方法

    公开(公告)号:CN101545750A

    公开(公告)日:2009-09-30

    申请号:CN200910130185.7

    申请日:2009-03-24

    Abstract: 本发明公开了一种透镜测量装置、透镜测量方法及透镜制造方法。透镜测量装置(1)包括:在以不改变透镜(7)的状态的方式支撑该透镜(7)的情况下使该透镜(7)在XY平面内移动的工作台(3),对通过工作台(3)移动的透镜(7)的一个透镜面(71)上的点在Z轴方向上的位置进行测量的第一位置测量仪(4),对通过工作台(3)移动的透镜(7)的另一个透镜面(72)上的点在Z轴方向上的位置进行测量的第二位置测量仪(5),以及根据利用工作台(3)使透镜(7)产生移动的移动量、以及第一及第二位置测量仪(4、5)的测量结果求出透镜(7)的形状的控制装置(10)。因此,能够以高精度且高效的方式测量透镜的形状。

Patent Agency Ranking