公开(公告)号：CN1441957A

公开(公告)日：2003-09-10

申请号：CN01812687.1

申请日：2001-05-11

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小寺宏一 ,  大江良尚 ,  河野宏树 ,  田中博由

IPC: H01J1/30 ,  H01J11/02 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J11/40 ,  H01J11/12

Abstract: 本发明的目的在于提供与以往相比在2次电子发射性方面良好的电子发射性薄膜和使用了该薄膜的等离子体显示面板及其制造方法。为此，使用真空蒸镀装置在前面玻璃基板上形成的电介质层上形成由MgO的薄膜构成的保护层。在该蒸镀时，以连结成为保护层的组成的靶的中心点与前面玻璃基板的中心点和其两端点的各直线与前面玻璃基板的夹角分别只在30～80°的范围内的方式进行蒸镀。由此，构成保护层的MgO的柱状晶体的至少一部分具有相对于薄膜表面倾斜的平坦面。

公开(公告)号：CN1253913C

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN01812687.1

申请日：2001-05-11

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 小寺宏一 ,  大江良尚 ,  河野宏树 ,  田中博由

IPC: H01J1/30 ,  H01J11/02 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J11/40 ,  H01J11/12

Abstract: 本发明的目的在于提供与以往相比在2次电子发射性方面良好的电子发射性薄膜和使用了该薄膜的等离子体显示面板及其制造方法。为此，使用真空蒸镀装置在前面玻璃基板上形成的电介质层上形成由MgO的薄膜构成的保护层。在该蒸镀时，以连结成为保护层的组成的靶的中心点与前面玻璃基板的中心点和其两端点的各直线与前面玻璃基板的夹角分别只在30～80°的范围内的方式进行蒸镀。由此，构成保护层的MgO的柱状晶体的至少一部分具有相对于薄膜表面倾斜的平坦面。