等离子体处理方法、等离子体处理六方氮化硼粉末的制造方法以及等离子体处理装置

    公开(公告)号:CN116745253A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202180089389.X

    申请日:2021-09-27

    Abstract: 提供一种在作为填料添加到树脂中时能够得到更高的热传导性的六方氮化硼粉末。一种等离子体处理方法,在减压下对六方氮化硼粉末进行等离子体处理,将上述六方氮化硼粉末收容于处理容器,向上述处理容器内供给等离子体生成用气体并且将上述处理容器内维持为低于大气压的压力,边使上述处理容器以上述处理容器的中心轴为旋转轴旋转、边对设置于上述处理容器的外部的电极施加高频,由此对上述处理容器内的六方氮化硼粉末进行等离子体处理,此时,上述处理容器的旋转轴相对于水平倾斜,在进行上述等离子体处理的期间,对上述处理容器及上述电极的一方或双方进行冷却。

    等离子体处理方法、等离子体处理六方氮化硼粉末的制造方法以及等离子体处理装置

    公开(公告)号:CN116745253B

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN202180089389.X

    申请日:2021-09-27

    Abstract: 提供一种在作为填料添加到树脂中时能够得到更高的热传导性的六方氮化硼粉末。一种等离子体处理方法,在减压下对六方氮化硼粉末进行等离子体处理,将上述六方氮化硼粉末收容于处理容器,向上述处理容器内供给等离子体生成用气体并且将上述处理容器内维持为低于大气压的压力,边使上述处理容器以上述处理容器的中心轴为旋转轴旋转、边对设置于上述处理容器的外部的电极施加高频,由此对上述处理容器内的六方氮化硼粉末进行等离子体处理,此时,上述处理容器的旋转轴相对于水平倾斜,在进行上述等离子体处理的期间,对上述处理容器及上述电极的一方或双方进行冷却。

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