公开(公告)号：CN116026133A

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN202211287410.X

申请日：2022-10-20

Applicant: 本田技研工业株式会社

Inventor： 井浦聪则 ,  国頭正树 ,  池田秀河

IPC: F26B21/00 ,  F26B21/02 ,  F26B21/08 ,  F26B25/00 ,  F26B25/12

Abstract: 为了抑制干燥空气供给量、气体交换所需时间以及对于处理槽的耐压要求中任一个的同时，制造干燥空间。干燥空间制造装置100具有：处理槽20、伸缩部件31～34、排出部25,50、干燥气体供给装置70、及控制装置80。处理槽20具有内部空间Sa。伸缩部件31～34设置在处理槽20内，并在保留内部空间Sa的部分区域的情况下膨胀。排出部25,50将内部空间Sa的气体G排出至处理槽20的外部。干燥空气供给装置70向内部空间Sa供给干燥气体D。控制装置80在执行完第一控制C1之后执行第二控制C2，其中第一控制C1使伸缩部件31～34膨胀的同时利用排出部25,50将内部空间Sa的气体G排出至处理槽20的外部，第二控制C2使伸缩部件31～34收缩的同时利用干燥空气供给装置70向内部空间Sa供给干燥气体D。