芯片光谱仪及光探测方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117168616A

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202210602980.7

    申请日:2022-05-27

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明公开了一种芯片光谱仪及光探测方法。所述芯片光谱仪包括:探测器以及不透光层,具有色散结构以及透光结构或输出耦合结构;其中,被测光入射所述不透光层后,形成于所述色散结构所在平面上传输的光,并与所述色散结构耦合实现色散,之后经所述透光结构或输出耦合结构输出至所述探测器的受光面。本发明实施例提供的一种芯片光谱仪,色散结构的覆盖面积小,可以完全在芯片上集成,而无需全反射棱镜等倏逝波耦合元件。

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