公开(公告)号：CN100595892C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200680012069.X

申请日：2006-04-14

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 鱼谷信夫 ,  高桥浩 ,  佐藤孝志 ,  佐藤元

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: H01L21/3212 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463

Abstract: 本发明提供一种在布线金属的研磨中，减少冲蚀、凹陷，且减少布线以外的部分上的布线金属残余的研磨组合物。本发明的研磨组合物，其特征在于，含有：(A)分子中具有3个以上唑基的分子量为300～15000的含唑基化合物；(B)氧化剂；(C)选自氨基酸、有机酸、无机酸中的1种或2种以上的酸。

公开(公告)号：CN101160644A

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200680012069.X

申请日：2006-04-14

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 鱼谷信夫 ,  高桥浩 ,  佐藤孝志 ,  佐藤元

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: H01L21/3212 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463

Abstract: 本发明提供一种在布线金属的研磨中，减少冲蚀、凹陷，且减少布线以外的部分上的布线金属残余的研磨组合物。本发明的研磨组合物，其特征在于，含有：(A)分子中具有3个以上唑基的分子量为300～15000的含唑基化合物；(B)氧化剂；(C)选自氨基酸、有机酸、无机酸中的1种或2种以上的酸。