公开(公告)号：CN101416118B

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN200780012237.X

申请日：2007-04-03

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 冈本秀一 ,  生津英夫

IPC: G03F7/42 ,  C11D7/50 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/0337 ,  C11D7/5018 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/426 ,  H01L21/31133

Abstract: 本发明提供可以充分除去附着于器件基板的抗蚀剂、特别是附着于高宽比大的微细图案的孔部的抗蚀剂的器件基板的清洗方法。所述器件基板的清洗方法是具备使用溶剂来除去附着于器件基板的抗蚀剂的清洗工序的器件基板的清洗方法，其中，所述溶剂是包含选自氢氟醚、氢氟烃和全氟化碳的至少一种含氟化合物以及含氟醇的组合物。

公开(公告)号：CN101416118A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200780012237.X

申请日：2007-04-03

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  NTT先进科技股份有限公司

Inventor： 冈本秀一 ,  生津英夫

IPC: G03F7/42 ,  C11D7/50 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/0337 ,  C11D7/5018 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/426 ,  H01L21/31133

Abstract: 本发明提供可以充分除去附着于器件基板的抗蚀剂、特别是附着于高宽比大的微细图案的孔部的抗蚀剂的器件基板的清洗方法。所述器件基板的清洗方法是具备使用溶剂来除去附着于器件基板的抗蚀剂的清洗工序的器件基板的清洗方法，其中，所述溶剂是包含选自氢氟醚、氢氟烃和全氟化碳的至少一种含氟化合物以及含氟醇的组合物。