公开(公告)号：CN204044343U

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201420478404.7

申请日：2014-08-22

Applicant: 旭化成微电子株式会社 ,  旭化成株式会社

Inventor： 渡边佳彦 ,  田中健 ,  石田一裕 ,  山下昌哉

IPC: G01R33/09

Abstract: 本实用新型提供了一种磁传感器，包括聚磁部、磁阻部以及用于实现磁阻部的电连接的布线，其中：所述聚磁部包括按第一图案配置的上聚磁部以及按第二图案配置的下聚磁部，所述上聚磁部和所述下聚磁部分别包括N个U或倒U字形的聚磁板，其中N等于3或3的整数倍，所述第一图案与所述第二图案相同或者呈上下镜像对称；所述磁阻部包括沿各所述U或倒U字形的聚磁板的纵向延伸部分并行设置的K个磁阻元件列，各所述磁阻元件列包括M个磁阻元件，其中K为大于或等于1的整数，M为大于或等于2的整数；以及纵向延伸的所述布线与横向延伸的所述布线经由通孔实现电连接。根据本实用新型的磁传感器，能够精度良好地检测分别朝向正交的三个方向的磁场混合而成的磁场信号。

公开(公告)号：CN204009026U

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201420478035.1

申请日：2014-08-22

Applicant: 旭化成微电子株式会社

Inventor： 山下昌哉 ,  山县曜 ,  四竈格久 ,  御子柴宪彦 ,  片桐洋次 ,  田中健 ,  渡边佳彦 ,  石田一裕

IPC: G01R33/09

Abstract: 本实用新型涉及一种至少对与衬底垂直的磁场和平行的磁场进行混合而能够在可分离的状态下检测各磁场分量的磁传感器。该传感器具备与衬底(355)平行并且呈锯齿状排列的N个聚磁板(351)，N为大于或等于12的整数，并且相邻的两个聚磁板(351)在长度方向上相互错开；沿各聚磁板(351)的长度方向并行设置有M个磁阻元件(352)，M为大于或等于2的整数，并且各磁阻元件(352)的钉扎层(352-1)与自由层(352-2)经由布线(353)实现相互电连接，沿排列方向的布线(353-1)与沿长度方向的布线(353-2)经由通孔(353-3)实现相互电连接。