公开(公告)号：CN105051249B

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201380074991.1

申请日：2013-03-22

Applicant: 日锻汽门株式会社

Inventor： 久保田行雄 ,  石井真一

IPC: C23C16/26

CPC classification number: C23C14/0611 ,  C23C14/024 ,  C23C14/025 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/0281 ,  C23C16/26 ,  F01L3/04

Abstract: 本发明提供一种可以同时确保CVD(化学气相生长)成膜方法的成膜速度和溅射成膜方法的耐久性的DLC(类金刚石碳)被覆膜及被覆气门挺杆。DLC被覆膜由沉积形成于基材表面的中间层(3)、沉积形成于该中间层(3)上的DLC层(4)构成，通过能够进行表面硬化的金属碳化物或金属来形成所述中间层(3)，且在混入烃气的非活性气体导入下，通过添加与所述中间层(3)共同的金属元素来形成所述DLC层(4)，由此，可对中间层(3)和DLC层(4)进行连续的采用溅射处理的成膜，另外，可进行Me‑DLC(金属添加DLC)的DLC层(4)的H(氢)含量调节。

公开(公告)号：CN105051249A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201380074991.1

申请日：2013-03-22

Applicant: 日锻汽门株式会社

Inventor： 久保田行雄 ,  石井真一

IPC: C23C16/26

CPC classification number: C23C14/0611 ,  C23C14/024 ,  C23C14/025 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/0281 ,  C23C16/26 ,  F01L3/04

Abstract: 本发明提供一种可以同时确保CVD(化学气相生长)成膜方法的成膜速度和溅射成膜方法的耐久性的DLC(类金刚石碳)被覆膜及被覆气门挺杆。DLC被覆膜由沉积形成于基材表面的中间层(3)、沉积形成于该中间层(3)上的DLC层(4)构成，通过能够进行表面硬化的金属碳化物或金属来形成所述中间层(3)，且在混入烃气的非活性气体导入下，通过添加与所述中间层(3)共同的金属元素来形成所述DLC层(4)，由此，可对中间层(3)和DLC层(4)进行连续的采用溅射处理的成膜，另外，可进行Me-DLC(金属添加DLC)的DLC层(4)的H(氢)含量调节。