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公开(公告)号:CN107076668A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201480080983.2
申请日:2014-08-01
申请人: 新港公司
CPC分类号: G01N21/55 , G01J3/00 , G01J3/02 , G01J3/0264 , G01J3/10 , G01J3/433 , G01J2003/104 , G01J2003/283 , G01J2003/2836 , G01J2003/4334 , G01N21/474 , G01N21/59 , G01N21/64 , G01N2021/556 , G01N2201/0691 , H02S50/10
摘要: 公开了用于测量样品的光学特性的方法。该系统被配置成对与样品的特性测量有关的信号进行采样,并且基于在大致同时的情况下获取的信号来执行信号的基于软件的相干检测,以生成所得测量。这易于实时显示或生成希望的测量。在一个配置中,该系统被配置成引导入射在样品上的、在选定波长下的经调制光信号。在另一配置中,该系统配置成引导入射在样品上的、从在不同波长下并以不同频率调制的多个光信号导出的组合光信号。在又一配置中,系统被配置成引导入射在样品的不同区域上的、以不同频率调制的多个光信号。