一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统

    公开(公告)号:CN104034272A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410290494.1

    申请日:2014-06-24

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统,属薄膜测厚技术领域。包括ASE光源,波长解调仪及法珀腔干涉平台等。该系统利用光纤准直器将激光器输出的光垂直打到反射镜面,从而在准直器端面和反射镜面中间形成法珀腔,使两束反射光形成干涉,从而通过波长解调仪解调出干涉光的强度变化,再通过相位解调算法,求得没有加入薄膜时法珀腔的腔长,之后在工件下面放上薄膜,抬高反射镜,缩短反射镜到准直器的距离,改变法珀腔的腔长,求得加入薄膜后法珀腔的腔长,没有加入和加入薄膜的两个腔长的差值即为薄膜的厚度。本发明系统通过测量距离间接地求得薄膜的厚度,既能测量透明薄膜也可以测量不透明薄膜。该系统构造简单,测量精度很高,比较容易实现。

    基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法

    公开(公告)号:CN106644038B

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN201710034536.9

    申请日:2017-01-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法,包括:传感器外壳,微型光源通过传输光纤与振动敏感源连接,在所述振动敏感源的两侧分别固定有准直器,所述振动敏感源的输出端通过传输光纤与光电转换模块连接,光电转换模块与数据分析模块、无线传输模块依次连接。本发明有益效果:此种结构设计使其在监测中仅需要将传感器与被测物体进行有效的接触,并检测信号的无线传输功能有效的克服了隧道、桥梁等大型工程结构监测中传感器布置与引线困难的现状。

    一种用于线性工程变形场监测的感测系统和方法

    公开(公告)号:CN110657753A

    公开(公告)日:2020-01-07

    申请号:CN201910823772.8

    申请日:2019-09-02

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于线性工程变形场监测的感测系统及方法,所述系统沿线性工程轴线布设,包括:柔性液体导管,以及一组或多组沿导管轴向设于导管表面的光纤传感器阵列;所述柔性液体导管中填充液体。本发明的所述感测系统以液体导管为主体,沿导管轴向布设光纤传感器阵列,并基于获取的曲率数据进行三维重建,基于柔性导管的变形预测线性工程的变形,能够直观且全方位地监测到线性工程的健康情况。

    基于椭圆环的光纤光栅三维应变传感器

    公开(公告)号:CN106767483A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201710034212.5

    申请日:2017-01-18

    CPC classification number: G01B11/18

    Abstract: 本发明公开了一种基于椭圆环的光纤光栅三维应变传感器,包括:在直角三维坐标系的三个平面上分别放置中心重合的三个应变椭圆环,所述每一个应变椭圆环包括椭圆环和应变敏感径向梁,所述应变敏感径向梁与应变椭圆环连接,所述应变敏感径向梁表面敷设光纤光栅,所述光纤尾纤从应变敏感径向梁一端的锚固口引出。本发明有益效果:通过椭圆环及承载梁一体化结构实现光纤光栅的内部封装,利用椭圆应变环实现三个方向不同应变的传递,既能实现应变的测量,又能分辨出应变的方向,并且该传感器体积较小,易实现较小空间三维应变的同时测量。

    一种光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统

    公开(公告)号:CN103472002A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310452175.1

    申请日:2013-09-27

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 一种光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统,属光纤气体检测技术领域。包括泵浦光源、波分复用器、计算机等,其中波分复用器、稀土掺杂光纤、光隔离器、置入输入、输出耦合镜的气室、可调谐滤波器、光纤耦合器共同构成光纤激光器的环形腔。石英音叉放置于气室内的合适位置,用于探测光纤激光器腔内激光激发气体产生的声波信号;石英音叉探测到的信号由锁相放大器进一步提取,并通过数据采集卡获取传输给计算机,做气体浓度反演后获取气体浓度信息。结合了光纤激光技术与光声光谱气体检测技术,本发明系统具有高灵敏度、高性价比、成本非常低等特点。

    一种光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统

    公开(公告)号:CN103472002B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201310452175.1

    申请日:2013-09-27

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 一种光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统,属光纤气体检测技术领域。包括泵浦光源、波分复用器、计算机等,其中波分复用器、稀土掺杂光纤、光隔离器、置入输入、输出耦合镜的气室、可调谐滤波器、光纤耦合器共同构成光纤激光器的环形腔。石英音叉放置于气室内的合适位置,用于探测光纤激光器腔内激光激发气体产生的声波信号;石英音叉探测到的信号由锁相放大器进一步提取,并通过数据采集卡获取传输给计算机,做气体浓度反演后获取气体浓度信息。结合了光纤激光技术与光声光谱气体检测技术,本发明系统具有高灵敏度、高性价比、成本非常低等特点。

    一种调Q光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统

    公开(公告)号:CN103472001B

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201310451111.X

    申请日:2013-09-27

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 一种调Q光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统,属光纤气体检测技术领域。包括泵浦光源、稀土掺杂光纤、调Q开关等,其中波分复用器、稀土掺杂光纤、光隔离器、置入输入、输出耦合镜的气室、调Q开关、光纤耦合器组成脉冲光纤激光器环形腔;石英音叉放置于气室内,用于探测光纤激光器腔内脉冲激光激发气体产生的声波信号;石英音叉探测到的信号由锁相放大器进一步提取,并通过数据采集卡获取传输给计算机,做气体浓度反演后获取气体浓度信息。结合了光纤激光技术与光声光谱气体检测技术,本发明系统具有高灵敏度、高性价比、成本低等特点。

    一种调Q光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统

    公开(公告)号:CN103472001A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310451111.X

    申请日:2013-09-27

    Applicant: 山东大学

    Abstract: 一种调Q光纤激光器腔内光声光谱气体检测系统,属光纤气体检测技术领域。包括泵浦光源、稀土掺杂光纤、调Q开关等,其中波分复用器、稀土掺杂光纤、光隔离器、置入输入、输出耦合镜的气室、调Q开关、光纤耦合器组成脉冲光纤激光器环形腔;石英音叉放置于气室内,用于探测光纤激光器腔内脉冲激光激发气体产生的声波信号;石英音叉探测到的信号由锁相放大器进一步提取,并通过数据采集卡获取传输给计算机,做气体浓度反演后获取气体浓度信息。结合了光纤激光技术与光声光谱气体检测技术,本发明系统具有高灵敏度、高性价比、成本低等特点。

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