公开(公告)号：CN107636097B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN201680015423.8

申请日：2016-03-17

申请人： 奥普提汀公司

发明人： A·凯尔凯宁 ,  M·汉努-库雷 ,  A·哈季奇 ,  J·莱沃 ,  H·耶尔维塔洛 ,  R-L·库瓦亚 ,  G·戈登 ,  M·佩索宁

IPC分类号： C08G77/06 ,  C08G77/52 ,  C08G77/50 ,  C08G77/20 ,  C08G77/14 ,  C09D183/14 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075

摘要： 本发明涉及硅氧烷聚合物组合物。本发明尤其涉及具有适合用于光刻制造方法中的性能的硅氧烷聚合物组合物。本发明还涉及该类组合物的合成、聚合和交联。