公开(公告)号：CN114450553A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202180005583.5

申请日：2021-03-30

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 中泽伸介 ,  户田刚史 ,  小田直哉

IPC: G01B11/02 ,  G01D5/347

Abstract: 本发明的主要目的在于提供一种编码器用反射型光学标尺，其能够充分降低在低反射区域的反射率。本发明通过提供一种编码器用反射型光学标尺来解决上述课题，该编码器用反射型光学标尺在基材上交替地配置有高反射区域和低反射区域，上述低反射区域包含低反射部，上述低反射部包含形成于上述基材上的金属铬膜、和以任意顺序形成于上述金属铬膜上的氧化铬膜和氮化铬膜，在上述高反射区域，从上述编码器用反射型光学标尺的与上述基材相反一侧入射的光的反射率高于上述低反射区域。

公开(公告)号：CN114674233A

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202210449227.9

申请日：2021-03-30

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 中泽伸介 ,  户田刚史 ,  小田直哉

IPC: G01B11/02 ,  G01D5/347

Abstract: 本发明涉及编码器用反射型光学标尺和反射型光学式编码器。本发明的主要目的在于提供一种编码器用反射型光学标尺，其能够充分降低在低反射区域的反射率。本发明通过提供一种编码器用反射型光学标尺来解决上述课题，该编码器用反射型光学标尺在基材上交替地配置有高反射区域和低反射区域，上述低反射区域包含低反射部，上述低反射部包含形成于上述基材上的金属铬膜、和以任意顺序形成于上述金属铬膜上的氧化铬膜和氮化铬膜，在上述高反射区域，从上述编码器用反射型光学标尺的与上述基材相反一侧入射的光的反射率高于上述低反射区域。