荧光检测传感器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110609019A

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201910517054.8

    申请日:2019-06-14

    Abstract: 荧光检测传感器包括:用激发光照射检查目标的激发光源;具有通过光电二极管检测光的光子检测部的半导体集成电路;以及控制单元,其使得保持在光电二极管上的检查目标为用激发光照射,并且在激发光被淬灭之后,通过光子检测部检测从检查目标发射的荧光。在光子检测部上方提供由作为半导体集成电路的组件之一的金属布线层形成的滤波器。

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