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发明公开
一种同轴消慧差的高精度反射镜焦距测量系统及方法审中-实审

公开(公告)号：CN117825009A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202410039424.2

申请日：2024-01-10

申请人： 复旦大学 , 中山复旦联合创新中心

发明人： 陈良尧 , 赵海斌 , 郑玉祥 , 张荣君 , 王松有 , 杨月梅 , 陈剑科 , 李楚

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明关于一种同轴消慧差的高精度反射镜焦距测量系统及方法，涉及光学电子器件技术领域。包括依光的传播方向依次设置于光路上的入射狭缝S、光栅G、入射球面反射镜M1、聚焦球面反射镜M2和二维CCD/CMOS探测器D；入射狭缝S和二维CCD/CMOS探测器D分别布设在所述光栅G两侧，且由入射狭缝S和入射球面反射镜M1形成的入射同轴光路与光栅G和聚焦球面反射镜M2形成的衍射同轴光路。本发明有效克服了慧差缺陷在反射光学测量系统对焦距高精度测量的影响，具有实际推广应用价值。