公开(公告)号：CN1705843A

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：CN200380101837.5

申请日：2003-10-15

Applicant: 喜开理株式会社 ,  索尼株式会社

Inventor： 吉田一裕 ,  井上贵史 ,  御友重吾 ,  成井启修

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K31/0655 ,  F16K27/003 ,  Y10T137/87885

Abstract: 提供一种携带气体没有紊流部分，使流到该携带气体内的工艺气体不扩散的集成气阀。集成气阀(1)构成如下：由致动器(31)使阀体(33)相对阀座(34)抵接·离开并进行阀孔(35)和阀室(36)的连通·遮断的开闭阀(30)，具有在途中与阀孔(35)分叉地贯通阀主体(12)而形成的第1流路(26)、以及从入口连通阀室并形成在阀主体(12)上的第2流路(29)，通过将多个这种开闭阀连设成一列，构成上述第1流路彼此直接或通过连接流路(27)串连连接成的主流路(23)，各个开闭阀的第2流路(29)通过阀室(36)和阀孔(35)而相对这种主流路(23)连接。

公开(公告)号：CN100339629C

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200380101837.5

申请日：2003-10-15

Applicant: 喜开理株式会社 ,  索尼株式会社

Inventor： 吉田一裕 ,  井上贵史 ,  御友重吾 ,  成井启修

IPC: F16K27/00

CPC classification number: F16K31/0655 ,  F16K27/003 ,  Y10T137/87885

Abstract: 提供一种携带气体没有紊流部分，使流到该携带气体内的工艺气体不扩散的集成气阀。集成气阀(1)构成如下：由致动器(31)使阀体(33)相对阀座(34)抵接或离开并进行阀孔(35)和阀室(36)的连通或遮断的开闭阀(30)，具有在途中与阀孔(35)分叉地贯通阀主体(12)而形成的第1流路(26)、以及从入口连通阀室并形成在阀主体(12)上的第2流路(29)，通过将多个这种开闭阀连设成一列，构成上述第1流路彼此直接或通过连接流路(27)串连连接成的主流路(23)，各个开闭阀的第2流路(29)通过阀室(36)和阀孔(35)而相对这种主流路(23)连接。