公开(公告)号：CN114619296A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202210297233.7

申请日：2022-03-24

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 吴明阳 ,  梁奉爽 ,  刘立飞 ,  李录彬 ,  张峰

IPC: B24B1/00 ,  C04B41/80

Abstract: 一种碳化硅大气等离子体抛光设备及其抛光方法，其中设备包括工作台、离子炬电极、射频电源、载气Ar源、液体乙醇源、含氟活性气体源、辅助气体源和气液混合蒸发器，载气Ar源连接气液混合蒸发器提供氩气，液体乙醇源连接气液混合蒸发器提供乙醇，含氟活性气体源和辅助气体源连接至离子炬电极以分别提供含氟活性气体和辅助气体输送到离子炬电极；离子炬电极的外部罩设有离子炬壳体，离子炬电极与离子炬壳体之间的空间形成气体反应室，工作台上并位于气体反应室的下部放置待抛光的碳化硅陶瓷工件。本发明使用氩气代替氦气作为大气压等离子体抛光的载气，解决目前天然气资源枯竭、抛光成本高昂的问题。

公开(公告)号：CN217255012U

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202220591987.9

申请日：2022-03-18

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 吴明阳 ,  梁奉爽 ,  刘立飞 ,  李录彬 ,  张峰

IPC: B24B1/04 ,  B24B41/04 ,  B24B41/00

Abstract: 本实用新型涉及超精密加工技术领域，具体是一种超声振动辅助磁流变抛光头,包括：传动轴、超声振动机构、磁流变抛光机构、固定桶体,通过联轴器将传动轴与机床输出端连接，带动磁流变抛光机构高速旋转的同时超声振动机构产生并施加给磁流变抛光机构轴向超声振动，实现了超声振动与磁流变抛光两种技术的结合，通过超声振动的辅助作用，抑制了在磁流变抛光过程中的纳米粒子的团聚和再铸层中大颗粒的形成，同时提高粒子活性，从而实现高效率的超声辅助磁流变抛光。