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发明公开
一种温-压动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器审中-实审

公开(公告)号：CN118408596A

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202410497882.0

申请日：2024-04-24

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 刘彬 , 王昊琦 , 邵志强 , 刘磊 , 单明广 , 钟志 , 于蕾

IPC: G01D21/02 , B81B7/02

Abstract: 一种温‑压动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器，涉及光纤传感技术领域，解决高温环境与复杂流场等恶劣环境下传感器多参数实时测量问题，而提供的一种温‑压双参数动态测量的蓝宝石MEMS高温动态压力传感器。传感器包括单模光纤、空腔和蓝宝石膜片；所述蓝宝石膜片上刻蚀有二维光子晶体阵列微结构，用于实现GMR反射镜；所述单模光纤用于将光线通过所述空腔射入所述二维光子晶体阵列微结构上；所述二维光子晶体阵列微结构用于将光线反射。本发明适用于高温复杂流体的物理量监测。

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