一种用于激光板条面检测的光斑强度分布获取方法

    公开(公告)号:CN113375914B

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202110623769.9

    申请日:2021-06-04

    Abstract: 本发明提供一种用于激光板条面检测的光斑强度分布获取方法,本发明属于激光板条的质量检测领域,在运用光纤白光干涉测量装置对激光板条进行面检测时,主要依赖自聚焦透镜光纤探头的出射光斑进行面扫描,激光板条受三维位移台把持控制,在连续移动激光板条过程中,基于自聚焦透镜光纤探头出射类高斯光束的特性,在刀口法光斑测量技术的基础上,提出激光板条边缘扫描光斑的反射式测量方法,并将光斑等效为四个相等的扇形区域,获取每个区域对应的一个光斑强度分布参数,同时消除机械回程误差的影响,获取精确的光斑强度分布。

    一种用于激光板条面检测的光斑强度分布获取方法

    公开(公告)号:CN113375914A

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN202110623769.9

    申请日:2021-06-04

    Abstract: 本发明提供一种用于激光板条面检测的光斑强度分布获取方法,本发明属于激光板条的质量检测领域,在运用光纤白光干涉测量装置对激光板条进行面检测时,主要依赖自聚焦透镜光纤探头的出射光斑进行面扫描,激光板条受三维位移台把持控制,在连续移动激光板条过程中,基于自聚焦透镜光纤探头出射类高斯光束的特性,在刀口法光斑测量技术的基础上,提出激光板条边缘扫描光斑的反射式测量方法,并将光斑等效为四个相等的扇形区域,获取每个区域对应的一个光斑强度分布参数,同时消除机械回程误差的影响,获取精确的光斑强度分布。

    一种用于激光板条端面键合面检测的光路对准方法

    公开(公告)号:CN113624452A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110796934.0

    申请日:2021-07-14

    Abstract: 本发明提供一种用于激光板条端面键合面检测的光路对准方法,本发明属于激光板条的质量检测领域,具体涉及一种用于激光板条端面键合面检测的光路对准方法。在对激光板条进行光学检测时,保证探测光束以合理的角度入射至关重要,在运用光纤白光干涉测量装置进行激光板条端面键合面检测时,本发明提供完善的光路对准方法,根据旋转控制台得到激光板条斜端面角度,配合光线追迹仿真软件的模拟分析,获取端面键合面检测时的光路入射角粗略值,再通过可视化的红光传输轨迹变化监测和光纤白光干涉测量装置对反射信号的实时检测,分别实现光路粗调和细调,最终达到光路严格对准的状态。

    一种用于激光板条端面键合面检测的光路对准方法

    公开(公告)号:CN113624452B

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202110796934.0

    申请日:2021-07-14

    Abstract: 本发明提供一种用于激光板条端面键合面检测的光路对准方法,本发明属于激光板条的质量检测领域,具体涉及一种用于激光板条端面键合面检测的光路对准方法。在对激光板条进行光学检测时,保证探测光束以合理的角度入射至关重要,在运用光纤白光干涉测量装置进行激光板条端面键合面检测时,本发明提供完善的光路对准方法,根据旋转控制台得到激光板条斜端面角度,配合光线追迹仿真软件的模拟分析,获取端面键合面检测时的光路入射角粗略值,再通过可视化的红光传输轨迹变化监测和光纤白光干涉测量装置对反射信号的实时检测,分别实现光路粗调和细调,最终达到光路严格对准的状态。

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