一种石英微孔板低压腐蚀装置及方法

    公开(公告)号:CN114163135B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202111500933.3

    申请日:2021-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种石英微孔板低压腐蚀方法,属于加工工艺领域。当石英微孔板中微孔尺寸小于需求尺寸时,给出一种腐蚀扩孔方法。本方法通过腐蚀溶液来腐蚀石英板材来达到扩大微孔孔径的目的,由于腐蚀溶液中存在气泡会导致腐蚀进行的不均匀,本发明提出一种低压腐蚀方法,可以将溶液中气泡数量降低,使石英微孔板腐蚀的速率更均衡。制造低压的装置由真空气泵、第一溶液杯、第二溶液杯、腐蚀杯、腐蚀溶液、几个气阀以及连接导管组成,通过特定的操作步骤可以将腐蚀杯抽成接近真空,使气泡析出,有利于溶液对微孔板的均匀腐蚀。

    一种石英微孔板低压腐蚀装置及方法

    公开(公告)号:CN114163135A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202111500933.3

    申请日:2021-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种石英微孔板低压腐蚀方法,属于加工工艺领域。当石英微孔板中微孔尺寸小于需求尺寸时,给出一种腐蚀扩孔方法。本方法通过腐蚀溶液来腐蚀石英板材来达到扩大微孔孔径的目的,由于腐蚀溶液中存在气泡会导致腐蚀进行的不均匀,本发明提出一种低压腐蚀方法,可以将溶液中气泡数量降低,使石英微孔板腐蚀的速率更均衡。制造低压的装置由真空气泵、第一溶液杯、第二溶液杯、腐蚀杯、腐蚀溶液、几个气阀以及连接导管组成,通过特定的操作步骤可以将腐蚀杯抽成接近真空,使气泡析出,有利于溶液对微孔板的均匀腐蚀。

    一种用于积分视场单元的光纤狭缝端排列固定装置

    公开(公告)号:CN114217376A

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN202111498709.5

    申请日:2021-12-09

    Abstract: 本发明涉及光纤光谱成像研究领域,提供了一种用于积分视场单元的光纤狭缝端排列固定装置。该装置用来固定积分视场单元的狭缝端出射光纤,将光纤按一定规律排列出射,并保证相邻光纤间间隔一定距离,以适应光谱仪的入射要求。光纤的固定方式采用深孔固定,在基板上打出圆孔,每个孔固定一根光纤。为了将光纤插孔方便,设计孔的前端为圆锥形。这种直接以插孔方式的固定方法要比常见的V槽固定方式拥有更自由的排布方式和更灵活多样的加工方法。

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