公开(公告)号：CN117821903A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202311851516.2

申请日：2023-12-29

Applicant: 吉林大学

Inventor： 张侃 ,  王凯文 ,  谷鑫磊 ,  潘靖婕 ,  董传尧 ,  文懋 ,  郑伟涛

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种NbB2‑C‑Ag宽温域润滑薄膜材料及其制备方法，薄膜材料包括非晶状态的C以及纳米晶状态的NbB2和Ag，其中非晶状态的C包裹纳米晶状态的NbB2和Ag；制备方法为采用NbB2和Ag为靶材，在甲烷和氩气的混合气氛下，采用磁控溅射法制备薄膜材料。本发明采用上述的一种NbB2‑C‑Ag宽温域润滑薄膜材料及其制备方法，制备的NbB2‑C‑Ag薄膜材料结构致密，硬度和韧性高，在室温到800℃下具有优异的润滑性能，拓宽了传统硼化物在宽温域下的摩擦润滑防护体系。