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公开(公告)号：CN102279210B
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201110213927.X
申请日：2011-07-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域，特别是涉及一种由纳米纤维和粒子粘附层组成的双敏感层结构的气体传感器及制备方法。器件从下至上依次由加热电极、下绝缘层、硅片、上绝缘层、信号电极、粒子粘附层、纳米纤维敏感层、加热电极引线和信号电极引线组成。粒子粘附层与纳米纤维层敏感层为同种金属氧化物气敏材料，粒子粘附层采用磁控溅射法沉积制备，纳米纤维敏感层采用静电纺丝法制备，本发明的主要优点是：器件制作过程简单，仅需要一次磁控溅射；易于批量生产，可以一次性地在数百个传感器制作上沉积粒子粘附层；且敏感性能提升明显，制作粒子材料层后，传感器在灵敏度和响应恢复速度方面都有了显著的提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101038312A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710055489.2
申请日：2007-04-05
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于电磁波强度测量传感器微热板表面温度的方法。首先是制作Si基样品片和微热板，然后在绝热隔光环境中，测量Si基样品片表面一定立体角下一定波长的电磁波强度和Si基样品片的表面温度，以此获得Si基样品片电磁波强度与表面温度关系的标定曲线；再将切割Si基样品片获得的微热板置于绝热隔光环境中，测量微热板表面相同的立体角下相同波长的电磁波强度，对照电磁波强度与温度关系的标定曲线，即可获得微热板表面被测区域的温度。通过选择不同直径的电磁波强度测定仪探头可以对不同面积大小的微区进行测量，并且能够对微热板表面进行逐点测量，得到微热板表面的温度分布情况，从而实现以非接触的方式测量微热板表面温度。
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公开(公告)号：CN102313763B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201110207517.4
申请日：2011-07-25
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域，特别涉及用于动态配气系统的快速气氛切换装置。本发明由位于腔体中的两个独立气室、侧面磨砂镀膜的圆柱形转体、位于转体底部侧面扇形窗口中的两个气体传感器及外接的动态配气系统组成。在圆柱形转体旋转过程中，两个气体传感器在两个气室之间切换，而这两个气室将分别通入由动态配气系统所发生的背景气体与目标气体，从而实现超低浓度气氛下气体传感器响应恢复时间的准确测量。本发明的主要优点是装置结构简单、成本低廉，两个气体传感器在两种动态配气系统所产生的气氛之间可以快速(小于1秒)地切换，同时转动过程不会引起气室之间的气氛交换。
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公开(公告)号：CN102313763A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110207517.4
申请日：2011-07-25
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域，特别涉及用于动态配气系统的快速气氛切换装置。本发明由位于腔体中的两个独立气室、侧面磨砂镀膜的圆柱形转体、位于转体底部侧面扇形窗口中的两个气体传感器及外接的动态配气系统组成。在圆柱形转体旋转过程中，两个气体传感器在两个气室之间切换，而这两个气室将分别通入由动态配气系统所发生的背景气体与目标气体，从而实现超低浓度气氛下气体传感器响应恢复时间的准确测量。本发明的主要优点是装置结构简单、成本低廉，两个气体传感器在两种动态配气系统所产生的气氛之间可以快速(小于1秒)地切换，同时转动过程不会引起气室之间的气氛交换。
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公开(公告)号：CN102323299A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110151003.1
申请日：2011-06-07
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明属于湿度传感器技术领域，特别是涉及一种用于准确测量湿度传感器响应恢复时间的快速湿度氛围切换装置。由位于腔体中的多个饱和盐溶液室、侧面磨砂镀膜的圆柱形转轴、位于转轴底部侧面扇形窗口中的湿度传感器和外接湿度传感器特性测试仪器组成。在圆柱形转轴转动的过程中，湿度传感器会在不同的湿度环境下进行快速地切换，从而实现由湿度传感器特性测试仪器测量湿度传感器的响应恢复时间曲线。本发明的主要优点是装置结构简单、成本低廉，湿度传感器在两种饱和盐溶液所产生的湿度气氛之间可以快速地切换，并且传感器不会接触外部空气，同时转动过程中也不会引起两个饱和盐溶液室之间的气氛交换。
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公开(公告)号：CN102279210A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110213927.X
申请日：2011-07-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明属于气体传感器技术领域，特别是涉及一种由纳米纤维和粒子粘附层组成的双敏感层结构的气体传感器及制备方法。器件从下至上依次由加热电极、下绝缘层、硅片、上绝缘层、信号电极、粒子粘附层、纳米纤维敏感层、加热电极引线和信号电极引线组成。粒子粘附层与纳米纤维层敏感层为同种金属氧化物气敏材料，粒子粘附层采用磁控溅射法沉积制备，纳米纤维敏感层采用静电纺丝法制备，本发明的主要优点是：器件制作过程简单，仅需要一次磁控溅射；易于批量生产，可以一次性地在数百个传感器制作上沉积粒子粘附层；且敏感性能提升明显，制作粒子材料层后，传感器在灵敏度和响应恢复速度方面都有了显著的提高。
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