公开(公告)号：CN117783224A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202410032028.7

申请日：2024-01-09

Applicant: 吉林大学

Inventor： 张彤 ,  张福芸 ,  周婷婷 ,  邴羽 ,  隋宁 ,  赵红然 ,  刘森 ,  费腾

IPC: G01N27/12 ,  B81B7/02

Abstract: 一种由脉冲电压驱动的富含氧空位的氧化铟基MEMS二氧化氮气体传感器及其制备方法，属于MEMS气体传感器技术领域。是由悬膜式MEMS微热板、位于悬膜式MEMS微热板插齿状测试电极一侧表面的富含氧空位氧化铟传感层组成；悬膜式MEMS微热板的背部包含有两组焊点，一组焊点为加热电极的引出使其与微控制器ESP32相连接，为传感器提供脉冲加热电压，使MEMS微热板分别工作在加热阶段和休眠阶段。本发明采用脉冲电压驱动方式使传感器对NO2具有更好的响应，对1ppm NO2的灵敏度由传统直流方式下的1.09提升至3.68，检测下限由传统直流方式下的1ppm降低至100ppb，传感器稳定性好且可靠性强。