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公开(公告)号：CN109216149B
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201811109448.1
申请日：2018-09-21
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置，该装置包含静电聚焦系统、静电分析器、栅网、微通道板、固定顶帽和静电分析器的侧支撑结构、固定静电分析器的支撑结构等；静电聚焦系统由上下各三组同轴的金属圆环电极组成，各个环状电极由内到外半径依次增加；静电分析器为半球状；包括顶帽、内半球以及外半球。本发明在传统的低能离子能量分析装置的准直区设置了金属圆环静电聚焦系统，该静电聚焦系统可同时对进入分析器的带电粒子束实现准直和聚焦，增加了分析器对入射气体的接收角范围；同时由于聚焦系统对带电粒子束的聚焦作用，提高了静电分析器的检测离子能量的灵敏度和效率。
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公开(公告)号：CN110783158A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911072098.0
申请日：2019-11-05
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： H01J23/06 , H01J23/04 , H01J23/087
摘要： 本发明公开了一种小型化低能栅控冷阴极电子枪，该装置包括阴极、栅极、静电聚焦电极与固定装配各电极的结构等；装配各电极的结构有：顶件、底座、陶瓷棒、绝缘垫片、阳极衬套、固定隔离支架、栅极衬套、弹簧、电极法兰；静电聚焦电极有：聚焦极、阳极、减速极；本发明利用COMSOL带电粒子追踪模块对电子枪的结构参数及电学参数进行优化修正，得到了电子枪中电极间距、厚度、电压等参数的较优数值。本发明发射出的电子束有束流强度大、束能量低、发散角小的优点，在各种离子源中有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN110783158B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN201911072098.0
申请日：2019-11-05
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： H01J23/06 , H01J23/04 , H01J23/087
摘要： 本发明公开了一种小型化低能栅控冷阴极电子枪，该装置包括阴极、栅极、静电聚焦电极组与电极固定结构等；静电聚焦电极组包括：聚焦极、阳极、减速极；电极固定结构包括：顶件、底座、陶瓷棒、绝缘垫片、阳极衬套、固定隔离支架、栅极衬套、弹簧、电极法兰。本发明利用COMSOL带电粒子追踪模块对电子枪的结构参数及电学参数进行优化修正，得到了电子枪中电极间距、厚度、电压等参数的较优数值。本发明发射出的电子束有束流强度大、束能量低、发散角小的优点，在各种离子源中有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109216149A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811109448.1
申请日：2018-09-21
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于静电偏转的新型空间低能离子能量分析装置，该装置包含静电聚焦系统、静电分析器、栅网、微通道板、固定顶帽和静电分析器的侧支撑结构、固定静电分析器的支撑结构等；静电聚焦系统由上下各三组同轴的金属圆环电极组成，各个环状电极由内到外半径依次增加；静电分析器为半球状；包括顶帽、内半球以及外半球。本发明在传统的低能离子能量分析装置的准直区设置了金属圆环静电聚焦系统，该静电聚焦系统可同时对进入分析器的带电粒子束实现准直和聚焦，增加了分析器对入射气体的接收角范围；同时由于聚焦系统对带电粒子束的聚焦作用，提高了静电分析器的检测离子能量的灵敏度和效率。
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公开(公告)号：CN112629746A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011412564.8
申请日：2020-12-04
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01L21/32
摘要： 本发明公开了一种可用于强磁场环境下的对称式热阴极电离真空计，该真空计包括发射阴极、控制极、加速栅极、收集极、底座和绝缘接线柱，其中控制极、加速栅极和收集极均为平板型结构，各电极板以发射阴极为中心对称平行布置，在磁场环境下工作时，设置电极排布方向与磁场方向平行。本发明利用COMSOL带电粒子追踪模块对真空计的结构参数及电学参数进行优化，得到了真空计的各电极间距、加速栅网宽度和电极电压等参数的较优数值，与传统的热阴极电离真空计相比，本发明使用掺杂LaB6的钨丝作为阴极材料，将阴极所需加热电流降至1～2A，增加了阴极的使用寿命，同时通过电极的对称平行布置，有效延长了电子运动轨迹，提高了真空计的灵敏度。
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