公开(公告)号：CN102230837A

公开(公告)日：2011-11-02

申请号：CN201110078435.4

申请日：2011-03-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  邱永荣 ,  程伟 ,  苏源哲 ,  孙道恒

IPC: G01L21/30 ,  B81B3/00

Abstract: 一种带温度补偿式微真空传感器，涉及一种微真空传感器。设有衬底、硅尖阵列发射阴极、金属阳极、阴极引出电极、阳极引出电极、2个发射腔体，金属阳极和阳极引出电极溅射在衬底的表面上，阴极引出电极溅射在硅片上，硅尖阵列发射阴极刻蚀在硅片上，硅片与衬底键合在一起形成第1发射腔体和第2发射腔体，第1发射腔体与所测环境相互连通，第2发射腔体通过键合技术使硅片与衬底真空密封，第1发射腔体和第2发射腔体通过硅片连接在一起，通过阳极引出电极和阴极引出电极在第1发射腔体和第2发射腔体的阴极与阳极之间加上固定电压。测量准确、具有推广应用价值。

公开(公告)号：CN102582293B

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201210050203.2

申请日：2012-02-29

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑高峰 ,  邱小椿 ,  吴德志 ,  孙道恒 ,  王翔 ,  程伟

IPC: B41J29/393 ,  B41J2/01

Abstract: 电纺直写闭环控制系统及控制方法，涉及一种电纺直写设备。提供一种可实现电纺直写纳米纤维直径的可控调节，提高纺丝射流喷射稳定性和纳米纤维直径均匀性的电纺直写闭环控制系统及控制方法。系统设有储液槽、供液器、喷丝头、收集板、微弱电流检测器、温度传感器、湿度传感器、数据采集器、控制计算机、直流高压电源和可调支架。建立有模糊控制器，通过检测纺丝电流获取射流喷射状态，依据纺丝电流变化调节施加电压和供液流速，避免了各干扰因素的影响，实现纺丝射流的长时间稳定喷射；调节模糊控制器设定电流可控制电纺直写纳米纤维直径。有利于提高电纺丝直写纳米纤维直径的可控性，对于电纺直写技术的工业化应用有着很好的推动作用。

公开(公告)号：CN102582293A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210050203.2

申请日：2012-02-29

Applicant: 厦门大学

Inventor： 郑高峰 ,  邱小椿 ,  吴德志 ,  孙道恒 ,  王翔 ,  程伟

IPC: B41J29/393 ,  B41J2/01

Abstract: 电纺直写闭环控制系统及控制方法，涉及一种电纺直写设备。提供一种可实现电纺直写纳米纤维直径的可控调节，提高纺丝射流喷射稳定性和纳米纤维直径均匀性的电纺直写闭环控制系统及控制方法。系统设有储液槽、供液器、喷丝头、收集板、微弱电流检测器、温度传感器、湿度传感器、数据采集器、控制计算机、直流高压电源和可调支架。建立有模糊控制器，通过检测纺丝电流获取射流喷射状态，依据纺丝电流变化调节施加电压和供液流速，避免了各干扰因素的影响，实现纺丝射流的长时间稳定喷射；调节模糊控制器设定电流可控制电纺直写纳米纤维直径。有利于提高电纺丝直写纳米纤维直径的可控性，对于电纺直写技术的工业化应用有着很好的推动作用。