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公开(公告)号：CN116429310A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310419625.0
申请日：2023-04-19
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01L5/167
Abstract: 本发明公开了一种六维主动式细胞微力传感器力平衡控制方法。微力传感器包括探针、动平台、基座以及将动平台和基座相连接的六个测量分支，测量分支由柔性梁、感知层、驱动层组成，所述方法包括：当微力传感器末端探针受到外界测量力作用时，柔性梁产生相应的变形，通过各测量分支的感知层测量得到动平台的实时位姿；将实时位姿与期望零位姿作差得到误差信号，误差信号进入到鲁棒滑模预测控制器中生成相应的控制律；控制律然后会分别经过阻尼补偿器、解耦器得到控制输入电压信号，并作用给驱动层，驱动层在电压作用下产生弯曲变形，使得动平台位姿恢复到期望平衡位置。本发明有效解决复杂集总干扰问题，实现快响应、强鲁棒、高稳定力平衡控制目标。
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