精密气体流量自动控制装置

    公开(公告)号:CN202929489U

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201220659663.0

    申请日:2012-12-05

    Abstract: 本实用新型公开了一种精密气体流量自动控制装置,包括与气源连通的管道,所述管道上自气源始依次设置有手动控制阀、自动控制阀以及流量传感器,所述流量传感器的信号端连接控制模块,控制模块的输出端通过舵机连接齿轮组,所述齿轮组的输出轴连接自动控制阀。本实用新型结构简单、成本低廉,采用单片机作为微控制器,对小流量气体进行实时监测与控制,具有控制精度高、实时性好、反应速度快的优点,特别适用于小流量气体的测量与控制。

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