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公开(公告)号:CN119890166A
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202510204523.6
申请日:2025-02-24
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L23/473 , H01L21/48 , H05K7/20 , B23D57/00
Abstract: 本发明提供了一种具有微织构表面的微通道散热器及其制备方法,涉及高热流密度电子器件散热技术领域。包括液体流动腔以及与液体流动腔贴合的上盖板,在所述上盖板或者所述液体流动腔的两侧设置有液体入口和出口;还包括放置在所述液体流动腔内的微通道基体,所述微通道基体上形成有若干平行间隔阵列排布的微通道,所述微通道的壁面排布有周期性微织构以调控微通道散热器的散热性能。通过本方案以制备具有微织构表面的超大深宽比微通道散热器。
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公开(公告)号:CN119673778B
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202510198737.7
申请日:2025-02-24
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/48 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/473 , B24D18/00 , B24D3/10 , B24D3/34
Abstract: 本发明提供了一种金刚石微通道散热器及其制备方法,涉及高热流密度芯片散热技术领域。本方案以固结有活性磨粒的金属丝或者活性金属丝作为线锯切割工具,以多线切割机床为加工设备,通过使线网快速形成线弓的方法,让活性磨粒线锯或活性金属丝在压力条件下高线速、往复、干式划擦金刚石基体,金刚石表面在活性磨粒或活性金属丝的作用下发生相变生成非晶碳或石墨或碳化物,再通过活性磨粒或活性金属丝的机械作用将相变产物去除,进而露出新鲜的金刚石表面,如此循环上述过程,实现金刚石微通道散热器的高效、高质加工。
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公开(公告)号:CN113311101B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202110517776.0
申请日:2021-05-12
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了金刚石‑金属高温固态界面反应样品制备方法,包括:加工金刚石、金属成平整块状或片状;加工金刚石、金属致使金刚石、金属平行度达预定要求;研磨抛光即将发生高温固态界面反应的金刚石、金属的接触面;采用丙酮溶液超声清洗金刚石、金属并烘干;装接金刚石、金属且保证金刚石、金属的接触面充分接触;装接好的金刚石和金属置于真空加热炉中进行时效或变温处理以获高温固态界面反应样品;形貌观察样品及分析样品成分。它具有如下优点:适用于金刚石‑金属反应体系中的固‑固反应体系,完善金刚石‑金属反应试验过程。
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公开(公告)号:CN114833735A
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN202210468197.6
申请日:2022-04-29
Applicant: 华侨大学 , 南安华大石材产业技术研究院
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明公开了一种用于钎焊线锯制备的静电上砂装置,它包括上砂腔体、两料槽、基体芯线和走线机构,基体芯线通过走线机构沿重合于该上砂腔体的中心轴线的方向走线穿过上砂腔体,上砂腔体的的左右两侧的外周身上分别固接有一导砂板,上砂腔体两侧与导砂板的相接处开设有漏缝,两料槽分别对应设在两导砂板的上方,上砂腔体内的顶部和底部的内壁面上分别设有上极板和下极板,上极板和下极板在上砂腔体内形成上下正对而置,上极板和下极板分别连接供电电源的正负极上。它具有如下优点:上砂均匀、结构简单、构思巧妙,上砂效率高。
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公开(公告)号:CN110064761A
公开(公告)日:2019-07-30
申请号:CN201910386084.X
申请日:2019-05-09
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种铝硅合金结合剂金刚石磨头及其制造方法,该铝硅合金结合剂成分按重量比包括元素成分:Si10~13%,Ti0.25%~6%,Mg0~0.5%,Cu0~5%,Ga0~0.5%,Ce0~0.5%,Sr0~0.5%,Na0~0.5%,余量为Al连同不可避免的杂质;将铝硅结合剂与金刚石粉末充分混合,将混合物冷压成型后;在一定烧结工艺下,进行真空热压烧结,得到铝硅合金基金刚石磨头粗品;随后将烧结得到的金刚石磨头粗品进行修整,就得到本发明的金刚石磨头成品。本发明使用的铝硅结合剂可实现低温烧结,减少金刚石热损伤,同时活性Ti元素的引入可显著增加金刚石磨粒的把持能力,两者共同提高磨头的耐磨性能,增加金刚石磨头的使用寿命。
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公开(公告)号:CN110052973A
公开(公告)日:2019-07-26
申请号:CN201910385115.X
申请日:2019-05-09
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种铝硅合金结合剂金刚石砂轮及其制造方法,该铝硅合金结合剂成分按重量比包括元素成分:Si0~30%,Ti0.25%~6%,Mg0~0.5%,Cu0~5%,Ga0~0.5%,Ce0~0.5%,Sr0~0.5%,Na0~0.5%,余量为Al连同不可避免的杂质;将铝硅合金结合剂与金刚石粉末的混合物冷压成型后;在一定烧结工艺下,进行真空热压烧结,得到铝硅合金基金刚石砂轮胎体;随后将烧结得到的金刚石砂轮胎体装在砂轮基体上,就得到本发明的金刚石砂轮。本发明使用的铝硅结合剂可实现低温烧结,减少金刚石热损伤,同时活性Ti元素的引入可显著增加金刚石磨粒的把持能力,两者共同提高砂轮的耐磨性能,增加金刚石砂轮的使用寿命。
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公开(公告)号:CN108972370A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201810966775.2
申请日:2018-08-23
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石微粉研磨块,包括基体和钎焊在所述基体表面的结块,所述基体为中碳优质钢,所述结块的原料包括金刚石微粉和锡银基钎料。本发明还公开了一种金刚石微粉研磨块的制造技术。采用本发明后,避免了钎焊时金刚石微粉的石墨化问题,所制成的金刚石微粉研磨块上金刚石微粉均匀的密集排布,且使用本发明的金刚石微粉研磨块的制造方法可用于大尺寸的研磨块的加工。
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公开(公告)号:CN110530799B
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN201910721403.8
申请日:2019-08-06
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明公开了一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法,在晶圆的非加工面沉积用于辅助测量的薄膜层,非加工面与加工面相互平行且呈背向设置,非加工面为光滑无损表面;再在晶圆的加工面进行至少一道减薄加工操作,并在每一道减薄加工操作之前后,将椭偏仪的入射光以设定的入射角扫描非加工面上的薄膜层,入射光在薄膜层和晶圆中经反射和折射后出射的椭偏信号经椭偏仪探测器接收,一旦在晶圆的辅助测量薄膜层上探测到的椭偏信号出现变化,则该出现椭偏信号变化对应的位置即为最大加工损伤位置。它具有如下优点:实现全局、无损、快速精准定位晶圆上的最大加工损伤位置,实时跟踪晶圆的加工状态,对实际晶圆的加工工艺的选择与优化具有重要的指导意义。
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公开(公告)号:CN108608345B
公开(公告)日:2020-08-07
申请号:CN201810770105.3
申请日:2018-07-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种含Cr的低温钎焊金刚石及其钎料合金,该金刚石由钎料合金在真空度小于5.5×10‑3Pa的真空管式炉中,以低于800℃的温度下焊接金刚石颗粒30~70min制备而成;钎料合金包括Cu 20~65wt%、Cr 1~10wt%、余量为锡和不可避免的杂质,所述钎料合金的熔点为530~740℃,能够实现金刚石的低温焊接,从机理上避免金刚石的石墨化,大大减小焊接过程中的热损伤。
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公开(公告)号:CN110202294A
公开(公告)日:2019-09-06
申请号:CN201910386091.X
申请日:2019-05-09
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用于低温钎焊金刚石的Sn-Cu-V合金焊料,涉及钎焊材料技术领域,能够实现金刚石的低温焊接,降低焊接过程中金刚石的热损伤,减少与金刚石连接的热敏基体力学性能的损失。本发明公开的钎料合金以重量百分比记的元素成分包括:Cu0.71~50%,V0.25%~7%,Ag0~20%,Ga0~0.5%,Ce0~0.5%,余量为Sn连同不可避免的杂质。
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