一种角度传感器组件以及角度测量方法

    公开(公告)号:CN117109640A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311116396.1

    申请日:2023-08-31

    Inventor: 游龙 占炜 周晨希

    Abstract: 本发明涉及一种角度传感器组件以及角度测量方法,属于角度测量技术领域。本发明的角度传感器组件,具有定子部件和可相对于定子部件任意角度旋转的转子部件,定子部件包括采用磁性多层膜构成的四个电极部,转子部件为沿其直径方向磁化的圆环形磁体或圆柱形磁体构成。本发明的测量方法是相对于所述角度传感器定子部件配置可转动的磁源,在三维空间中旋转所述转子部件,根据所述转子部件与所述角度传感器定子部件的位置关系,利用反常霍尔效应或者隧道磁电阻效应测量电阻的特性,在事先标定的笛卡尔坐标系下测量磁源产生的径向磁场在三个正交平面上投影的角度,从而能够高效测量磁源相对于角度传感器的旋转角度。

    一种温度传感器组件、温度测量方法及系统

    公开(公告)号:CN116007781A

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202310062010.7

    申请日:2023-01-13

    Abstract: 本发明公开了一种温度传感器组件、温度测量方法及系统,基于铁磁薄膜,利用温度对于反常霍尔系数或者垂直磁化强度的大小会产生相关影响的物理特性,制备了所述的微米尺寸级别的温度传感器件,通过测量其在不同外界温度下反常霍尔电阻值与垂直磁场大小的变化曲线,建立了反常霍尔电阻差值与温度的对应关系曲线,所述的曲线的多项式拟合优度高,测试结果与拟合曲线的偏差小,从而可以实现对温度的100K至490K较宽测温范围内的高效测量。通过性能评价表明,上述薄膜结构具有良好的垂直磁各向异性,所述温度传感器具有良好的重复测试性能、测温耐久性、较高的测温精度与较宽的测温范围。

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