公开(公告)号：CN101924450B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201010230855.5

申请日：2010-07-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 艾武 ,  刘晓庆 ,  闫光亚 ,  何路

IPC: H02K33/18

Abstract: 本发明涉及一种直线电机直驱的二维微动平台，为一种固定音圈电机直驱式X-Y微动平台，包括基座、音圈直线电机、X向运动平台、Y向运动平台、解耦部件和光栅尺等。音圈直线电机直接驱动X-Y二维微动平台；X方向和Y方向音圈直线电机均固接于底座，通过解耦部件实现X向和Y向的运动；利用光栅尺来检测电机位置。本发明为提高运动速度和运动精度，屏弃了传统的旋转电机传动机构，采用直线电机直接驱动；为降低运动惯量，设计了解耦部件，X、Y向直线电机均固定来实现X-Y二维运动；为实现高精度、高稳定性的运动，使用了光栅尺作为反馈元件；体现了高速、高加速度、高精度和高稳定性，可应用在高速自动化设备、电子与半导体加工设备和激光加工设备等领域。

公开(公告)号：CN101924450A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN201010230855.5

申请日：2010-07-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 艾武 ,  刘晓庆 ,  闫光亚 ,  何路

IPC: H02K33/18

Abstract: 本发明涉及一种直线电机直驱的二维微动平台，为一种固定音圈电机直驱式X-Y微动平台，包括基座、音圈直线电机、X向运动平台、Y向运动平台、解耦部件和光栅尺等。音圈直线电机直接驱动X-Y二维微动平台；X方向和Y方向音圈直线电机均固接于底座，通过解耦部件实现X向和Y向的运动；利用光栅尺来检测电机位置。本发明为提高运动速度和运动精度，屏弃了传统的旋转电机传动机构，采用直线电机直接驱动；为降低运动惯量，设计了解耦部件，X、Y向直线电机均固定来实现X-Y二维运动；为实现高精度、高稳定性的运动，使用了光栅尺作为反馈元件；体现了高速、高加速度、高精度和高稳定性，可应用在高速自动化设备、电子与半导体加工设备和激光加工设备等领域。