公开(公告)号：CN102723270B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201210187294.4

申请日：2012-06-07

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  唐伟 ,  孙旭明 ,  王子然 ,  彭旭华 ,  孟博

IPC: H01L21/311

Abstract: 本发明公开了一种使柔性材料层表面平坦化的方法，所述柔性材料层生长于器件表面，首先根据柔性材料层所覆盖的器件表面的凹凸结构制备硬质模版；然后将该模版置于柔性材料层上，使二者对准、紧密接触并固定，在模版的图形区域柔性材料层上的凸起被露出；接着通过等离子体刻蚀方法刻蚀柔性材料层表面的凸起。该方法能将柔性材料层存在的2微米以上的高度差缩减到1微米以内，实现柔性材料层的表面平坦化。

公开(公告)号：CN104021782A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201410189774.3

申请日：2014-05-06

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  韩梦迪 ,  邱国林 ,  彭旭华 ,  刘雯 ,  程晓亮 ,  孟博 ,  朱福运

IPC: G10H3/14 ,  G10H1/34 ,  G10K11/16

Abstract: 一种自驱动无噪音录音键盘乐器，包括键盘、液晶显示屏、r型复合式发电机、整流桥、测量设备、电脑软件。琴键的每一个白键下面对应一个r型复合式发电机，发电机的压电模块输出连接至整流桥，输出连接至液晶显示屏。发电机的摩擦模块输出连接至测量设备；其记录的电信号输出至电脑软件。当按下琴键时，压电模块产生形变，产生电能驱动相应的液晶显示屏，起到指示按键音的作用。当演奏乐曲时，摩擦模块产生形变，测量设备会记录摩擦模块产生的电信号，电脑软件将电信号转化为数字声音，将演奏的音乐转化为数字音乐信息，实现录音的效果。应用本键盘乐器进行录音时，仅录制琴键按下时产生的声音，其它外界声音一概不会被记录，从而实现无噪音录音。

公开(公告)号：CN102738300B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201210187289.3

申请日：2012-06-07

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  彭旭华 ,  唐伟 ,  张晓升 ,  孟博

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0224

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅电极的制备方法，首先制备具有栅线图形的碳化硅模版，然后将碳化硅模版与太阳能电池基片对准且贴紧固定，应用物理气相淀积法制备栅电极。该方法应用的模版材料PECVD-SiC应力小，制备的电池栅电极线宽得到了保证，因此减小了表面覆盖率；制备电极的过程影响因素较少，便于精确控制；工艺简单，提高了生产效率；SiC材料耐腐蚀性强，模版一次制得后可重复利用，降低了成本。

公开(公告)号：CN102738300A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210187289.3

申请日：2012-06-07

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  彭旭华 ,  唐伟 ,  张晓升 ,  孟博

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0224

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种太阳能电池栅电极的制备方法，首先制备具有栅线图形的碳化硅模版，然后将碳化硅模版与太阳能电池基片对准且贴紧固定，应用物理气相淀积法制备栅电极。该方法应用的模版材料PECVD-SiC应力小，制备的电池栅电极线宽得到了保证，因此减小了表面覆盖率；制备电极的过程影响因素较少，便于精确控制；工艺简单，提高了生产效率；SiC材料耐腐蚀性强，模版一次制得后可重复利用，降低了成本。

公开(公告)号：CN102723270A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201210187294.4

申请日：2012-06-07

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  唐伟 ,  孙旭明 ,  王子然 ,  彭旭华 ,  孟博

IPC: H01L21/311

Abstract: 本发明公开了一种使柔性材料层表面平坦化的方法，所述柔性材料层生长于器件表面，首先根据柔性材料层所覆盖的器件表面的凹凸结构制备硬质模版；然后将该模版置于柔性材料层上，使二者对准、紧密接触并固定，在模版的图形区域柔性材料层上的凸起被露出；接着通过等离子体刻蚀方法刻蚀柔性材料层表面的凸起。该方法能将柔性材料层存在的2微米以上的高度差缩减到1微米以内，实现柔性材料层的表面平坦化。

公开(公告)号：CN104021782B

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201410189774.3

申请日：2014-05-06

Applicant: 北京大学

Inventor： 张海霞 ,  韩梦迪 ,  邱国林 ,  彭旭华 ,  刘雯 ,  程晓亮 ,  孟博 ,  朱福运

IPC: G10H3/14 ,  G10H1/34 ,  G10K11/16

Abstract: 一种自驱动无噪音录音键盘乐器，包括键盘、液晶显示屏、r型复合式发电机、整流桥、测量设备、电脑软件。琴键的每一个白键下面对应一个r型复合式发电机，发电机的压电模块输出连接至整流桥，输出连接至液晶显示屏。发电机的摩擦模块输出连接至测量设备；其记录的电信号输出至电脑软件。当按下琴键时，压电模块产生形变，产生电能驱动相应的液晶显示屏，起到指示按键音的作用。当演奏乐曲时，摩擦模块产生形变，测量设备会记录摩擦模块产生的电信号，电脑软件将电信号转化为数字声音，将演奏的音乐转化为数字音乐信息，实现录音的效果。应用本键盘乐器进行录音时，仅录制琴键按下时产生的声音，其它外界声音一概不会被记录，从而实现无噪音录音。