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1.

实用新型
气体流量控制装置失效

公开(公告)号：CN202522931U

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201120493799.4

申请日：2011-12-01

Applicant: 北京北分瑞利分析仪器(集团)有限责任公司

Inventor： 张智博 , 崔欢 , 毕雪林

IPC: G05D7/06 , G01N30/00

Abstract: 本实用新型公开了一种气体流量控制装置，包括控制单元、以及与所述控制单元分别连接的比例阀和质量流量传感器。本实用新型通过采用质量流量传感器实时测量气体的流量，并使控制单元对所述流量信息进行处理后向比例阀发出控制命令，比例阀对气体的流量进行调节，本实用新型控制精度较高，稳定性较好，并且其体积小巧、结构紧凑。本实用新型由于采用了质量流量传感器，其在工作过程中既不受环境温度影响，又不受前后端气压的影响。

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