公开(公告)号：CN102288775A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201110186345.7

申请日：2011-07-05

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 朴林华 ,  王星 ,  余全刚

IPC: G01P3/28

Abstract: 一种气流式角速度传感器包括测试腔体，设置在所述测试腔体中心位置的敏感元件，对称设置在测试腔体两端的两个压电泵，与测试腔体和压电泵相连通的气体循环通道和信号处理电路；测试腔体为沿轴向中心、径向中心均对称的腔体，在测试腔体的两端位置设置有进气口；两个压电泵与测试腔体的两端具有一定距离，传感器内的气体可在由测试腔体，气体循环通道和压电泵组成的密闭空间内循环，敏感元件为四周设置有四组热敏电阻丝的板状框架结构，每组电阻丝所在直线与敏感元件的中心位置的垂直距离相同，相对的两组热敏丝相互平行，相邻的两组热敏丝之间相互垂直，敏感元件的中心与所述进气口的中心均位于测试腔体的中心线上。

公开(公告)号：CN102288775B

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201110186345.7

申请日：2011-07-05

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 朴林华 ,  王星 ,  余全刚

IPC: G01P3/28

Abstract: 一种气流式角速度传感器包括测试腔体，设置在所述测试腔体中心位置的敏感元件，对称设置在测试腔体两端的两个压电泵，与测试腔体和压电泵相连通的气体循环通道和信号处理电路；测试腔体为沿轴向中心、径向中心均对称的腔体，在测试腔体的两端位置设置有进气口；两个压电泵与测试腔体的两端具有一定距离，传感器内的气体可在由测试腔体，气体循环通道和压电泵组成的密闭空间内循环，敏感元件为四周设置有四组热敏电阻丝的板状框架结构，每组电阻丝所在直线与敏感元件的中心位置的垂直距离相同，相对的两组热敏丝相互平行，相邻的两组热敏丝之间相互垂直，敏感元件的中心与所述进气口的中心均位于测试腔体的中心线上。