电子部件以及电子部件制造方法

    公开(公告)号:CN109964544A

    公开(公告)日:2019-07-02

    申请号:CN201780071565.0

    申请日:2017-12-01

    Abstract: 电子部件具有:玻璃基材(100),其形成有将两面贯通的贯通孔(101);绝缘树脂层(120),其层叠于玻璃基材(100)的两面,在内部形成有镀铜层(103);以及电容器(109),其具有形成于镀铜层(103)上的下部电极(110)、层叠形成于下部电极(110)上的电介质层(111)以及层叠形成于电介质层(111)上的上部电极(112),上部电极(112)的沿着镀铜层(103)的面的区域形成为小于电介质层(111)的沿着镀铜层(103)的面的区域以及下部电极(110)的沿着镀铜层(103)的面的区域,由此形成具有可靠性较高的MIM构造的薄膜电容器的玻璃芯基板,并且能够实现小型化·薄型化·高度可靠化。

    电子部件以及电子部件制造方法

    公开(公告)号:CN109964544B

    公开(公告)日:2023-02-24

    申请号:CN201780071565.0

    申请日:2017-12-01

    Abstract: 电子部件具有:玻璃基材(100),其形成有将两面贯通的贯通孔(101);绝缘树脂层(120),其层叠于玻璃基材(100)的两面,在内部形成有镀铜层(103);以及电容器(109),其具有形成于镀铜层(103)上的下部电极(110)、层叠形成于下部电极(110)上的电介质层(111)以及层叠形成于电介质层(111)上的上部电极(112),上部电极(112)的沿着镀铜层(103)的面的区域形成为小于电介质层(111)的沿着镀铜层(103)的面的区域以及下部电极(110)的沿着镀铜层(103)的面的区域,由此形成具有可靠性较高的MIM构造的薄膜电容器的玻璃芯基板,并且能够实现小型化·薄型化·高度可靠化。

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