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公开(公告)号：CN102719802A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210224346.0
申请日：2012-07-02
Applicant: 兰州大学
Abstract: 本发明涉及一种硅包覆金刚石增加其金属黏合性的装置，该装置包括横置的真空室、带转动轴的电机和带波导管的微波产生装置。所述真空室的左端分别设有石英窗口和进气口，其右端分别设有抽气口和所述电机，其内设有滚筒；所述石英窗口与所述带波导管的微波产生装置相连；所述滚筒的内壁镶嵌有卡片，其两端设有护套，且一端设有六脚支架，该六脚支架通过所述转动轴与所述电机相连。同时本发明还公开了该装置的使用方法。本发明不但便于实现大规模的生产应用，而且有效降低了成本，同时增大了金刚石颗粒与器具的黏合性能，提高了工具的使用效率和使用寿命。
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公开(公告)号：CN102719804B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210224334.8
申请日：2012-07-02
Applicant: 兰州大学
Abstract: 本发明涉及一种气体内循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，该装置包括内设反应腔的密闭真空室。所述反应腔内壁顶端设有风扇，该风扇的下方设有多根并排直钨丝构成的热丝阵列；所述热丝阵列的两端接直流电，其下方设有衬底盘，该衬底盘上设有热电偶；所述风扇的侧上方的所述真空室外壁设有进气口；所述真空室外壁侧下方设有抽气口。本发明可以实现金刚石膜的大面积、高速率生长，减少氢气的消耗。
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公开(公告)号：CN102719804A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210224334.8
申请日：2012-07-02
Applicant: 兰州大学
Abstract: 本发明涉及一种气体内循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，该装置包括内设反应腔的密闭真空室。所述反应腔内壁顶端设有风扇，该风扇的下方设有多根并排直钨丝构成的热丝阵列；所述热丝阵列的两端接直流电，其下方设有衬底盘，该衬底盘上设有热电偶；所述风扇的侧上方的所述真空室外壁设有进气口；所述真空室外壁侧下方设有抽气口。本发明可以实现金刚石膜的大面积、高速率生长，减少氢气的消耗。
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公开(公告)号：CN102719802B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210224346.0
申请日：2012-07-02
Applicant: 兰州大学
Abstract: 本发明涉及一种硅包覆金刚石增加其金属黏合性的装置，该装置包括横置的真空室、带转动轴的电机和带波导管的微波产生装置。所述真空室的左端分别设有石英窗口和进气口，其右端分别设有抽气口和所述电机，其内设有滚筒；所述石英窗口与所述带波导管的微波产生装置相连；所述滚筒的内壁镶嵌有卡片，其两端设有护套，且一端设有六脚支架，该六脚支架通过所述转动轴与所述电机相连。同时本发明还公开了该装置的使用方法。本发明不但便于实现大规模的生产应用，而且有效降低了成本，同时增大了金刚石颗粒与器具的黏合性能，提高了工具的使用效率和使用寿命。
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