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公开(公告)号：CN210427372U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201920380843.7
申请日：2019-03-25
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本实用新型提供一种表面状态检查装置，基于简易的原理由廉价设备构成。该表面检查装置包括第一光源，将第一色调的光照射至被检查物表面的检查区域；第二光源，将与第一色调不同的第二色调的光照射至所述检查区域；彩色相机，光接收来自所述被检查物表面的反射光；以及分析器，将从所述彩色相机输出的光接收信号作为输入，对来自所述检查区域的所述反射光的色调分布进行分析，其中，所述第一光源的照射方向与所述第二光源的照射方向不同。
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