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公开(公告)号：CN100437157C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200480001407.0
申请日：2004-02-05
Applicant: 住友电气工业株式会社
Inventor： 布施敬司
CPC classification number: G02B27/12 , B23K26/066 , G02B27/1086
Abstract: 由单位图案T的重复组成的常规衍射光学元件(DOE)具有快速傅立叶变换算法可用于计算图像平面上阵点上的衍射光束点强度的优点。但是，常规DOE具有不可能衍射激光束偏离阵点的缺点。本发明通过给予任意复振幅透射系数{tmn}到每个像素(m，n)，计算从{tmn}到强度W(α，β)的实际傅立叶变换，并且获得指向任意α和β方向的衍射光束的强度来设计一种DOE。因为α，β不必要在阵点上，FFT没有用。角分辨率U和V满足不等式U＜λ/aR和V＜λ/bS，其中λ是波长，aR和bS是DOE的尺寸。DOE可以在图像上任意位置产生多衍射光束并且可以高精度同时照射多个任意排列的点。DOE实现产生电子零件所必需的任意位置上的精确多点显微处理。DOE适用于高速和低成本的激光处理。
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公开(公告)号：CN101541468B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200780044321.X
申请日：2007-11-29
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
Abstract: 本发明公开了一种聚光光学系统，该聚光光学系统具有小尺寸的会聚光斑和大的焦深而不会引起会聚光斑的强度下降和在焦点位置的前后区域强度分布不连续的问题。该聚光光学系统以预定的焦距会聚由激光源生成的激光束并且设计成满足表达式(a)～(d)，由此产生第三阶和第五阶球面像差：(a)|Z8|≥0.1λ或|Z15|≥0.05λ，(b)Z8/Z15≥3或Z8/Z15＜1，(c)|Z8|＜1.4λ，并且(d)|Z15|＜0.5λ，其中，λ是波长，Z8是波前像差的泽尼克条纹多项式系数中与第三阶球面像差对应的第八项系数，Z15是波前像差的泽尼克条纹多项式系数中与第五阶球面像差对应的第十五项系数。
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公开(公告)号：CN101541468A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200780044321.X
申请日：2007-11-29
Applicant: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
Abstract: 本发明公开了一种聚光光学系统，该聚光光学系统具有小尺寸的会聚光斑和大的焦深而不会引起会聚光斑的强度下降和在焦点位置的前后区域强度分布不连续的问题。该聚光光学系统以预定的焦距会聚由激光源生成的激光束并且设计成满足表达式(a)～(d)，由此产生第三阶和第五阶球面像差：(a)|Z8|≥0.1λ或|Z15|≥0.05λ，(b)Z8/Z15≥3或Z8/Z15＜1，(c)|Z8|＜1.4λ，并且(d)|Z15|＜0.5λ，其中，λ是波长，Z8是波前像差的泽尼克条纹多项式系数中与第三阶球面像差对应的第八项系数，Z15是波前像差的泽尼克条纹多项式系数中与第五阶球面像差对应的第十五项系数。
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公开(公告)号：CN1705898A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200480001407.0
申请日：2004-02-05
Applicant: 住友电气工业株式会社
Inventor： 布施敬司
CPC classification number: G02B27/12 , B23K26/066 , G02B27/1086
Abstract: 由单位图案T的重复组成的常规衍射光学元件(DOE)具有快速傅立叶变换算法可用于计算图像平面上阵点上的衍射光束点强度的优点。但是，常规DOE具有不可能衍射激光束偏离阵点的缺点。本发明通过给予任意复振幅透射系数{tmn}到每个像素(m，n)，计算从{tmn}到强度W(α，β)的实际傅立叶变换，并且获得指向任意α和β方向的衍射光束的强度来设计一种DOE。因为α，β不必要在阵点上，FFT没有用。角分辨率U和V满足不等式U＜λ/aR和V＜λ/bS，其中λ是波长，aR和bS是DOE的尺寸。DOE可以在图像上任意位置产生多衍射光束并且可以高精度同时照射多个任意排列的点。DOE实现产生电子零件所必需的任意位置上的精确多点显微处理。DOE适用于高速和低成本的激光处理。
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