气体检测装置以及气体检测系统
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118575077A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202380018203.0

    申请日:2023-01-16

    Abstract: 本发明高精度地检测样品气体中包含的成分的浓度。气体检测装置具备采集部以及第一气体传感器和第二气体传感器。采集部采集包含第一被检测气体以及第二被检测气体的样品气体。第一气体传感器以及第二气体传感器是能够检测第一被检测气体以及第二被检测气体这双方的传感器。第一气体传感器与第二气体传感器的、对第一被检测气体的检测灵敏度与对第二被检测气体的检测灵敏度的相对关系互不相同。

    制造传感器装置的方法和传感器装置

    公开(公告)号:CN113826321A

    公开(公告)日:2021-12-21

    申请号:CN202080030398.7

    申请日:2020-04-22

    Abstract: 一种传感器装置,包括:基板,具有基板表面;第一IDT电极,设置在基板表面上;第二IDT电极,设置在基板表面上;波导;以及保护膜。波导设置在基板表面上并且在第一IDT电极与第二IDT电极之间。波导包括设置在基板表面上的第一固定层和设置在第一固定层上的第二固定层。当从平面图观察时,第二固定层设置在第一固定层的外边缘的内部。

    传感器装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113924483A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202080037743.X

    申请日:2020-05-29

    Abstract: 传感器装置(1)包括具有基板表面的基板、第一IDT电极(11)、第二IDT电极(12)和波导(20)。第一IDT电极与第二IDT电极位于基板表面上。波导位于基板表面上,且位于第一IDT电极与第二IDT电极之间。第一IDT电极和第二IDT电极中的至少一个包括参考电极(11G、12G)和信号电极(11A、12A),参考电极和信号电极各自包括多个电极指(11X、12X),多个电极指沿一个方向并列布置。第一IDT电极和第二IDT电极中的所述至少一个与波导之间的距离短于在该一个方向上参考电极与信号电极之间的间隔。

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