一种膜片式光纤F-P腔压力传感器温度补偿方法

    公开(公告)号:CN103674358A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310606168.2

    申请日:2013-11-25

    Abstract: 本发明涉及一种膜片式F-P腔压力传感器温度补偿方法,属于光纤传感和压力测量及健康监测领域。首先选取玻璃7740材料制作腔底,同时采用硅制作F-P腔膜片,厚度为40μm;其次根据材料的热膨胀系数,玻璃的为3.3×10-6,硅片的为2.4×10-6,同时考虑到与硅的亲和性与柔韧性,选用钛进行真空溅射镀膜,其热膨胀系数为10.8×10-6,膜厚为100nm;然后采用研磨、抛光仪器对硅及玻璃表面进行预处理,并采用高温键合方法将两者固定一起,腔体为真空环境;最后采用环氧树脂胶粘剂将传输光纤固定于腔底的下侧。本发明流程简单,易于实现可以代替复杂的软件算法进行的温度补偿。

    一种周期力加载装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103185658A

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201110445686.1

    申请日:2011-12-28

    Inventor: 王宇 张力 张立喆

    Abstract: 本发明涉及一种周期力加载装置,属于计量测试与产品性能试验技术领域。包括质量块、弹性连接件、被检产品、振动台和支架;其中,质量块带有一个凸块,该凸块带有外螺纹,弹性连接件包括质量块固定端、工作段、加载固定端。本发明能够缩减质量块尺寸,降低加速度分布不均匀性带来的不确定性,可以在不改变振动台总体输出的情况下,使装置获得更大的有效动态力载荷,扩大周期力加载装置的力值范围,而且相对稳定;同时又避免由于增加质量块尺寸给整体加载装置的使用频率带来的负面影响。

    一种膜片式光纤F-P腔压力传感器温度补偿方法

    公开(公告)号:CN103674358B

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201310606168.2

    申请日:2013-11-25

    Abstract: 本发明涉及一种膜片式F-P腔压力传感器温度补偿方法,属于光纤传感和压力测量及健康监测领域。首先选取玻璃7740材料制作腔底,同时采用硅制作F-P腔膜片,厚度为40μm;其次根据材料的热膨胀系数,玻璃的为3.3×10-6,硅片的为2.4×10-6,同时考虑到与硅的亲和性与柔韧性,选用钛进行真空溅射镀膜,其热膨胀系数为10.8×10-6,膜厚为100nm;然后采用研磨、抛光仪器对硅及玻璃表面进行预处理,并采用高温键合方法将两者固定一起,腔体为真空环境;最后采用环氧树脂胶粘剂将传输光纤固定于腔底的下侧。本发明流程简单,易于实现可以代替复杂的软件算法进行的温度补偿。

    一种周期力加载装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103185658B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201110445686.1

    申请日:2011-12-28

    Inventor: 王宇 张力 张立喆

    Abstract: 本发明涉及一种周期力加载装置,属于计量测试与产品性能试验技术领域。包括质量块、弹性连接件、被检产品、振动台和支架;其中,质量块带有一个凸块,该凸块带有外螺纹,弹性连接件包括质量块固定端、工作段、加载固定端。本发明能够缩减质量块尺寸,降低加速度分布不均匀性带来的不确定性,可以在不改变振动台总体输出的情况下,使装置获得更大的有效动态力载荷,扩大周期力加载装置的力值范围,而且相对稳定;同时又避免由于增加质量块尺寸给整体加载装置的使用频率带来的负面影响。

    带有温度自补偿的光纤F-P腔压力传感器

    公开(公告)号:CN103644987A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310606330.0

    申请日:2013-11-25

    Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域,涉及带有温度自补偿的光纤F-P腔压力传感器。本发明带有温度自补偿的光纤F-P腔压力传感器,采用刻有光栅的光纤为传导光纤,光学F-P腔为压力敏感元件。其中F-P腔敏感元件为非本征光纤F-P腔,光纤光栅和光学F-P腔通过胶黏结或者二氧化碳激光焊接的方式连接。传感器按感压方式不同分为带有温度自补偿的侧压式光纤F-P腔压力传感器和带有温度自补偿的端压式光纤F-P腔压力传感器两种。

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